聲光頻移基于Bragg衍射,為保證激光經(jīng)多個聲波波前反射后實現(xiàn)多光束相干,必需保證:dλ>>Λ2,江蘇棱鏡激光干涉儀價位,式中d為聲光介質厚度,λ為輸入激光波長,Λ為聲波波長。從式中可見,由于存在聲光介質厚度d,聲波頻率不可能過低,也即由聲光頻移產(chǎn)生的雙頻激光的頻差不可能過低,一般在幾十MHz到幾百MHz,江蘇棱鏡激光干涉儀價位,這樣對系統(tǒng)的硬件速度又提出了更高的要求。采用聲光移頻技術,可以使激光干涉議的光學系統(tǒng)**簡化,如2束光的頻差取決于電路中的晶體振蕩器,可以直接在電路中得到,與外差式激光干涉議相比,可以省去一套參考信號的接受光路。此外,江蘇棱鏡激光干涉儀價位,由于這樣的系統(tǒng)不存在激光干涉儀的定臂,難以用一個激光頭來實現(xiàn)角度和直線度測量。通用組合水平式檢測干涉儀(數(shù)字化相移分析系列)是一款高性能模塊化組合激光檢測干涉儀。江蘇棱鏡激光干涉儀價位
基本上,激光干涉儀都使用氦氖激光器的632.8nm波長的光,橙紅燦爛的光束射向遠方,發(fā)散角可以小到0.1mrad,光束截面的光斑均勻。氦氖激光器還可輸出綠光、黃光、紅外光,但只有632.8nm波長的光適合作激光干涉儀的光源。其它類型的激光器,如半導體(LD)、固體激光器等的相干等性能都遠不及氦氖激光器,研究人員多有嘗試,但都沒有成功。激光干涉儀有很多應用,但本質都是測量中學課本講的“位移”,諸多應用都是“位移”的延伸和轉化。激光干涉儀有兩個主流類型:單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀。江蘇平晶檢定激光干涉儀直銷價格球面類光學元表面光圈、局部形變的測量、球面曲率半徑的測量等。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機床油霧,切削屑等會使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導致激光束強度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號時交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。
測量位移的干涉儀和測量表面的干涉儀有幾個概念的定義比較混亂(特別是有些研究發(fā)展趨勢的報告),需要注意。一是“激光測距”和“激光測位移”沒有界定,資料往往鹿馬不分。二是不少資料所說“激光干涉儀”實際上包含兩種不同的儀器,一種是測量面型(元件表面)的激光干涉儀,一種是測量位移(長度)的激光干涉儀。如海關的統(tǒng)計和一些年度報告往往混在一起。激光測距機發(fā)出的激光束是一個持續(xù)時間納秒的光脈沖,利用光脈沖達到目標和返回的時間之半乘以光速得到距離,完全和光的干涉無關。盡管激光波面干涉儀和測量位移(長度)的干涉儀都是利用光干涉現(xiàn)象,但儀器的設計、光路結構、探測方式、應用場合幾乎沒有共同之處。平面類(平面平晶、窗口玻璃、光學平面玻璃、金屬平面、陶瓷平面等)光滑表面面形測量。
國內外單頻和雙頻激光干涉儀的進展及問題多年來,國內外在單頻和雙頻激光干涉儀方面進步不大,特例是雙折射-塞曼雙頻激光器的發(fā)明。由于從國外購買的激光器不能產(chǎn)生大間隔的雙頻光,原有國內雙頻激光干涉儀的供應商基本停產(chǎn),以前作為基礎研究的雙折射-塞曼雙頻激光器被推到前臺。雙頻激光器是干涉儀的**技術,走在了世界前端,也解決了國內無源的重大難題。業(yè)界往往忽略干涉儀的非線性誤差很長時期以來,業(yè)界認為單頻干涉儀沒有非線性誤差。事實上,德國聯(lián)邦物理技術研究院(PTB)經(jīng)嚴格測試發(fā)現(xiàn),單頻干涉儀也存在幾納米的非線性誤差,甚至大于10nm。塞曼效應的雙頻干涉儀也有非線性誤差,也是無法消除的。非線性誤差發(fā)生在半個波長的位移內,即使量程很小也照樣存在。對此干涉儀測量的誤差,大多使用者是不知情的。激光干涉儀光源波長:632.8nm。蘇州球面激光干涉儀原理
通用組合水平式干涉儀具有良好的抗振性能,可以在有空氣擾動,輕微振動的環(huán)境下檢測。江蘇棱鏡激光干涉儀價位
用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦,并由計?shù)器一個不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,精度達到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個根本弱點就是受環(huán)境影響嚴重,在測試環(huán)境惡劣,測量距離較長時,這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時,光電接收器會輸出信號,如果信號超過了計數(shù)器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來,而如果激光束強度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù),使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流,機床油霧,切削屑對光束的影響,結果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。江蘇棱鏡激光干涉儀價位
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