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發(fā)布時(shí)間:2022-05-09
當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束,Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測(cè)量光束,蘇州光學(xué)系統(tǒng)透射波前激光干涉儀概念。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘1/2激光波長(zhǎng))后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,蘇州光學(xué)系統(tǒng)透射波前激光干涉儀概念,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,蘇州光學(xué)系統(tǒng)透射波前激光干涉儀概念,所以抗干擾能力強(qiáng)。應(yīng)用領(lǐng)域:光學(xué)加工(窗口玻璃檢測(cè))。蘇州光學(xué)系統(tǒng)透射波前激光干涉儀概念
激光干涉儀是精度比較高的線性位移測(cè)量?jī)x器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測(cè)時(shí),對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。***我們來扒一扒引起激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因。
1、 阿貝誤差:測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。 江蘇棱鏡激光干涉儀報(bào)價(jià)表應(yīng)用領(lǐng)域:高精度精密機(jī)械(平面元件檢測(cè))。
單頻干涉儀能做的雙頻激光干涉儀都能做,但雙頻干涉儀能做的單頻干涉儀不見得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因,兩種干涉儀都有著廣泛應(yīng)用。但在光刻機(jī)上,雙頻激光干涉儀獨(dú)占市場(chǎng)。單頻干涉儀不需要對(duì)市場(chǎng)上的氦氖激光器進(jìn)行改造,直接可用。但雙頻激光干涉儀用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻(兩個(gè)頻率)。歷史上,雙頻激光干涉儀測(cè)量位移的速度不及單頻激光干涉儀,自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器,雙頻激光干涉儀的測(cè)量速度也達(dá)到每秒幾米,與單頻激光器看齊了。
通用組合水平式檢測(cè)干涉儀(數(shù)字化相移分析系列)是一款高性能模塊化組合激光檢測(cè)干涉儀。它依據(jù)可模塊化組合的設(shè)計(jì)理念和通過不同的組合模式,靈活地滿足不同的檢測(cè)需求。進(jìn)而在結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適用于多種被測(cè)面的前提下,使用數(shù)字化相移分析方法實(shí)現(xiàn)高精度、多功能的檢測(cè),從而**降低檢測(cè)成本。此款干涉儀解決了被檢測(cè)對(duì)象的不確定與檢測(cè)系統(tǒng)相對(duì)固定之間的匹配問題,以及由此帶來的現(xiàn)有儀器實(shí)用性受限問題。它不僅實(shí)現(xiàn)了干涉測(cè)量技術(shù)的更新?lián)Q代,而且填補(bǔ)了制造業(yè)和國(guó)家質(zhì)檢部門對(duì)高精度平面檢測(cè)設(shè)備需求的空白。光學(xué)鏡片檢測(cè)、光學(xué)組件檢測(cè),相機(jī)鏡頭檢測(cè),安防鏡頭和車載鏡頭檢測(cè)。
激光干涉儀測(cè)量利用的是邁克爾遜干涉原理:(1)從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);(2)兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進(jìn)行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;(3)角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離,將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。CCD分辨率:1280*960像素。江蘇非球面激光干涉儀供應(yīng)商
應(yīng)用領(lǐng)域:手機(jī)工業(yè)(背板檢測(cè))。蘇州光學(xué)系統(tǒng)透射波前激光干涉儀概念
溫度和空氣折射率補(bǔ)償單元干涉儀測(cè)量的目標(biāo)位移可能長(zhǎng)達(dá)百米,空氣折射率(及改變)和長(zhǎng)度的乘積成為激光干涉儀的**主要誤差來源之一。用傳感器測(cè)出溫度、氣壓、濕度,信號(hào)處理單元計(jì)算出空氣折射率引入的假位移,并從結(jié)果中扣除。
信號(hào)處理單元光電探測(cè)器1和2,分別把信號(hào)和的光束轉(zhuǎn)化為電信號(hào),±Δf是可動(dòng)反射鏡位移時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示位移的方向。電信號(hào)經(jīng)放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。環(huán)境溫度,氣壓,濕度引入的折射率變化(假位移)送入計(jì)算機(jī)計(jì)算,并扣除他們的影響。相當(dāng)多的應(yīng)用要求計(jì)算機(jī)和應(yīng)用系統(tǒng)通訊,實(shí)現(xiàn)對(duì)加工過程的閉環(huán)控制。 蘇州光學(xué)系統(tǒng)透射波前激光干涉儀概念
蘇州千宇光學(xué)科技有限公司屬于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。千宇光學(xué)科技是一家有限責(zé)任公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù),持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),具有高低溫光電綜合系統(tǒng),彎折機(jī),相位差測(cè)試儀,軸角度測(cè)試儀等多項(xiàng)業(yè)務(wù)。千宇光學(xué)科技順應(yīng)時(shí)代發(fā)展和市場(chǎng)需求,通過高端技術(shù),力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的高低溫光電綜合系統(tǒng),彎折機(jī),相位差測(cè)試儀,軸角度測(cè)試儀。