IQAligner®NT特征:零輔助橋接工具-雙基板概念,支持200mm和300mm的生產靈活性吞吐量>200wph(手次打印)間端對準精度:頂側對準低至250nm背面對準低至500nm寬帶強度>120mW/cm2(300毫米晶圓)完整的明場掩模移動(FCMM)可實現靈活的圖案定位并兼容暗場掩模對準非接觸式原位掩膜到晶圓接近間隙驗證超平坦和快速響應的溫度控制晶片卡盤,出色的跳動補償手動基板裝載能力返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統遠程技術支持和GEM300兼容性智能過程控制和數據分析功能[FrameworkSoftwarePlatform]用于過程和機器控制的集成分析功能設備和過程性能根蹤功能并行/排隊任務處理功能智能處理功能發(fā)生和警報分析智能維護管理和根蹤整個晶圓表面高光強度和均勻性是設計和不斷提高EVG掩模對準器產品組合時需要考慮的其他關鍵參數。寧夏微流體光刻機
我們可以根據您的需求提供進行優(yōu)化的多用途系統。我們的掩模對準系統設計用于從掩模對準到鍵合對準的快速簡便轉換。此外,可以使用用于壓印光刻的可選工具集,例如UV-納米壓印光刻,熱壓印或微接觸印刷。所有系統均支持原位對準驗證軟件,以提高手動操作系統的對準精度和可重復性。EVG620NT/EVG6200NT可從手動到自動基片處理,實現現場升級。此外,所有掩模對準器都支持EVG專有的NIL技術。如果您需要納米壓印設備,請訪問我們的官網,或者直接聯系我們。西藏光刻機售后服務EVG所有掩模對準器都支持EVG專有的NIL技術。
光刻機處理結果:EVG在光刻技術方面的合心競爭力在于其掩模對準系統(EVG6xx和IQAligner系列)以及高度集成的涂層平臺(EVG1xx系列)的高吞吐量的接近和接觸曝光能力。EVG的所有光刻設備平臺均為300mm,可完全集成到HERCULES光刻軌道系統中,并輔以其用于從上到下側對準驗證的計量工具。高級封裝:在EVG®IQAligner®上結合NanoSpray?曝光的涂層TSV底部開口;在EVG的IQAlignerNT®上進行撞擊40μm厚抗蝕劑;負側壁,帶有金屬兼容的剝離抗蝕劑涂層;金屬墊在結構的中間;用于LIGA結構的高縱橫比結構,用EVG®IQAligner®曝光200μm厚的抗蝕劑的結果;西門子星狀測試圖暴露在EVG®6200NT上,展示了膏分辨率的厚抗蝕劑圖形處理能力;MEMS結構在20μm厚的抗蝕劑圖形化的結果。
EVG鍵合機掩模對準系列產品,使用蕞先近的工程技術。用戶對接近式對準器的主要需求由幾個關鍵參數決定。亞微米對準精度,掩模和晶片之間受控的均勻接近間隙,以及對應于抗蝕劑靈敏度的已經明確定義且易于控制的曝光光譜是蕞重要的標準。此外,整個晶圓表面的高光強度和均勻性是設計和不斷增強EVG掩模對準器產品組合時需要考慮的其他關鍵參數。創(chuàng)新推動了我們的日常業(yè)務的發(fā)展和提升我們的理念,使我們能夠跳出思維框架,創(chuàng)造更先進的系統。IQ Aligner光刻機支持的晶圓尺寸高達200 mm / 300 mm。
EVG®101--先進的光刻膠處理系統主要應用:研發(fā)和小規(guī)模生產中的單晶圓光刻膠加工EVG101光刻膠處理系統在單腔設計中執(zhí)行研發(fā)類型的工藝,與EVG的自動化系統完全兼容。EVG101光刻膠處理機支持蕞大300mm的晶圓,并可配置用于旋涂或噴涂以及顯影應用。通過EVG先進的OmniSpray涂層技術,在互連技術的3D結構晶圓上獲得了光致光刻膠或聚合物的保形層。這確保了珍貴的高粘度光刻膠或聚合物的材料消耗降低,同時提高了均勻性和光刻膠鋪展選擇。這大達地節(jié)省了用戶的成本。所有系統均支持原位對準驗證的軟件,它可以提高手動操作系統的對準精度和可重復性。安徽光刻機美元報價
我們可以根據您的需求提供進行優(yōu)化的多用途系統。寧夏微流體光刻機
國統局數據顯示,2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個,營收規(guī)模4002億元,營收同比增長7.57%;收入總額為361億元,同比增長2.87%,比主營收入低4.70個百分點;隨著互聯網的逐步發(fā)展,為半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產品的傳播提供了一個飛速的平臺。讓儀器儀表行業(yè)從傳統的銷售模式到以互聯網電子商務為主的營銷方式的轉變,促進了儀器儀表行業(yè)與互聯網的結合,推動產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。在國民經濟運行中,磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務 等設備是提高勞動生產率的倍增器,對國民經濟有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產值只占工業(yè)總產值的4%,但它對國民經濟(GNP)的影響面卻達到66%。貿易專業(yè)化發(fā)展是中國儀器儀表產業(yè)的又一發(fā)展趨勢,隨著科技水平的提高,儀器儀表產品不僅用在日常的測量、調節(jié)、測溫、顯示等設備中,而且開始運用在不同的領域之中。寧夏微流體光刻機
岱美儀器技術服務(上海)有限公司一直專注于磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務 ,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己**的技術體系。一批專業(yè)的技術團隊,是實現企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎,是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力。誠實、守信是對企業(yè)的經營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀。公司憑著雄厚的技術力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實的工作作風、良好的職業(yè)道德,樹立了良好的半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀形象,贏得了社會各界的信任和認可。