可控硅可控硅簡(jiǎn)稱SCR，是一種大功率電器元件，也稱晶閘管。它具有體積小、效率高、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。在自動(dòng)控制系統(tǒng)中，可作為大功率驅(qū)動(dòng)器件，實(shí)現(xiàn)用小功率控件控制大功率設(shè)備。它在交直流電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)、調(diào)功系統(tǒng)及隨動(dòng)系統(tǒng)中得到了廣泛的應(yīng)用?？煽毓璺謫蜗蚩煽毓韬碗p向可控硅兩種。雙向可控硅也叫三端雙向可控硅，簡(jiǎn)稱TRIAC。雙向可控硅在結(jié)構(gòu)上相當(dāng)于兩個(gè)單向可控硅反向連接，這種可控硅具有雙向?qū)üδ?。其通斷狀態(tài)由控制極G決定。在控制極G上加正脈沖（或負(fù)脈沖）可使其正向（或反向）導(dǎo)通。這種裝置的優(yōu)點(diǎn)是控制電路簡(jiǎn)單，沒(méi)有反向耐壓?jiǎn)栴}，因此特別適合做交流無(wú)觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)使用。IGBTIGBT絕緣柵雙極型晶體管，是由BJT（雙極型三極管）和MOS（絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管）組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件，兼有MOSFET的高輸入阻抗和GTR的低導(dǎo)通壓降兩方面的優(yōu)點(diǎn)。GTR飽和壓降低，載流密度大，但驅(qū)動(dòng)電流較大；MOSFET驅(qū)動(dòng)功率很小，開(kāi)關(guān)速度快，但導(dǎo)通壓降大，載流密度小。IGBT綜合了以上兩種器件的優(yōu)點(diǎn)，驅(qū)動(dòng)功率小而飽和壓降低。IGBT非常適合應(yīng)用于直流電壓為600V及以上的變流系統(tǒng)如交流電機(jī)、變頻器、開(kāi)關(guān)電源、照明電路、牽引傳動(dòng)等領(lǐng)域。當(dāng)MOSFET的溝道形成后，從P+基極注入到N-層的空穴（少子），對(duì)N-層進(jìn)行電導(dǎo)調(diào)制。北京好的Mitsubishi三菱IGBT模塊值得推薦

    igbt簡(jiǎn)介IGBT（InsulatedGateBipolarTransistor），絕緣柵雙極型晶體管，是由BJT（雙極型三極管）和MOS（絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管）組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件，兼有MOSFET的高輸入阻抗和GTR的低導(dǎo)通壓降兩方面的優(yōu)點(diǎn)。GTR飽和壓降低，載流密度大，但驅(qū)動(dòng)電流較大；MOSFET驅(qū)動(dòng)功率很小，開(kāi)關(guān)速度快，但導(dǎo)通壓降大，載流密度小。IGBT綜合了以上兩種器件的優(yōu)點(diǎn)，驅(qū)動(dòng)功率小而飽和壓降低。非常適合應(yīng)用于直流電壓為600V及以上的變流系統(tǒng)如交流電機(jī)、變頻器、開(kāi)關(guān)電源、照明電路、牽引傳動(dòng)等領(lǐng)域。IGBT模塊IGBT模塊是由IGBT（絕緣柵雙極型晶體管芯片）與FWD（續(xù)流二極管芯片）通過(guò)特定的電路橋接封裝而成的模塊化半導(dǎo)體產(chǎn)品；封裝后的IGBT模塊直接應(yīng)用于變頻器、UPS不間斷電源等設(shè)備上。IGBT模塊特點(diǎn)IGBT模塊具有節(jié)能、安裝維修方便、散熱穩(wěn)定等特點(diǎn)；當(dāng)前市場(chǎng)上銷售的多為此類模塊化產(chǎn)品，一般所說(shuō)的IGBT也指IGBT模塊；隨著節(jié)能環(huán)保等理念的推進(jìn)，此類產(chǎn)品在市場(chǎng)上將越來(lái)越多見(jiàn)。IGBT結(jié)構(gòu)上圖所示為一個(gè)N溝道增強(qiáng)型絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu)，N+區(qū)稱為源區(qū)，附于其上的電極稱為源極（即發(fā)射極E）。N基極稱為漏區(qū)。器件的控制區(qū)為柵區(qū)，附于其上的電極稱為柵極（即門極G）。北京好的Mitsubishi三菱IGBT模塊值得推薦它與GTR的輸出特性相似．也可分為飽和區(qū)1、放大區(qū)2和擊穿特性3部分。

    模塊的內(nèi)部等效電路多個(gè)管芯并聯(lián)時(shí)，柵極已經(jīng)加入柵極電阻，實(shí)際的等效電路如圖2所示。不同制造商的模塊，柵極電阻的阻值也不相同；不過(guò)，同一個(gè)模塊內(nèi)部的柵極電阻，其阻值是相同的。圖2單管模塊內(nèi)部的實(shí)際等效電路圖IGBT單管模塊通常稱為1in1模塊，前面的“1”表示內(nèi)部包含一個(gè)IGBT管芯，后面的“1”表示同一個(gè)模塊塑殼之中。2.半橋模塊，2in1模塊半橋（Halfbridge）模塊也稱為2in1模塊，可直接構(gòu)成半橋電路，也可以用2個(gè)半橋模塊構(gòu)成全橋，3個(gè)半橋模塊也構(gòu)成三相橋。因此，半橋模塊有時(shí)候也稱為橋臂（Phase-Leg）模塊。圖3是半橋模塊的內(nèi)部等效。不同的制造商的接線端子名稱也有所不同，如C2E1可能會(huì)標(biāo)識(shí)為E1C2，有的模塊只在等效電路圖上標(biāo)識(shí)引腳編號(hào)等。圖3半橋模塊的內(nèi)部等效電路半橋模塊的電流/電壓規(guī)格指的均是其中的每一個(gè)模塊單元。如1200V/400A的半橋模塊，表示其中的2個(gè)IGBT管芯的電流/電壓規(guī)格都是1200V/400A，即C1和E2之間可以耐受高2400V的瞬間直流電壓。不僅半橋模塊，所有模塊均是如此標(biāo)注的。3.全橋模塊，4in1模塊全橋模塊的內(nèi)部等效電路如圖4所示。圖4全橋模塊內(nèi)部等效電路全橋（Fullbridge）模塊也稱為4in1模塊，用于直接構(gòu)成全橋電路。

    由形成于半導(dǎo)體襯底表面的一導(dǎo)電類型輕摻雜區(qū)組成。第二導(dǎo)電類型摻雜的阱區(qū)，形成于所述漂移區(qū)表面。在所述漂移區(qū)的底部表面形成有由第二導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的集電區(qū)。電荷存儲(chǔ)層，所述電荷存儲(chǔ)層形成于所述漂移區(qū)的頂部區(qū)域且位于所述漂移區(qū)和所述阱區(qū)交界面的底部，所述電荷存儲(chǔ)層具有一導(dǎo)電類重?fù)诫s；所述電荷存儲(chǔ)層用于阻擋第二導(dǎo)電類載流子從所述漂移區(qū)中進(jìn)入到所述阱區(qū)中。多個(gè)溝槽，各所述溝槽穿過(guò)所述阱區(qū)和所述電荷存儲(chǔ)層且各所述溝槽的進(jìn)入到所述漂移區(qū)中；一個(gè)所述igbt器件的單元結(jié)構(gòu)中包括一個(gè)柵極結(jié)構(gòu)以及形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)，在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括至少一個(gè)所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。所述柵極結(jié)構(gòu)包括形成于一個(gè)對(duì)應(yīng)的所述溝槽中的一屏蔽多晶硅和多晶硅柵的疊加結(jié)構(gòu)，所述一屏蔽多晶硅組成一屏蔽電極結(jié)構(gòu)。所述多晶硅柵位于所述一屏蔽多晶硅的頂部，所述一屏蔽多晶硅和對(duì)應(yīng)的所述溝槽的底部表面和側(cè)面之間通過(guò)一屏蔽介質(zhì)層隔離，所述一屏蔽多晶硅和所述多晶硅柵之間通過(guò)多晶硅間介質(zhì)層隔離，所述多晶硅柵和所述溝槽的側(cè)面之間通過(guò)柵介質(zhì)層隔離。所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)由填充于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述溝槽中的第二屏蔽多晶硅組成。它與MOSFET的轉(zhuǎn)移特性相同，當(dāng)柵源電壓小于開(kāi)啟電壓Ugs(th)時(shí)，IGBT處于關(guān)斷狀態(tài)。

    3、本發(fā)明還設(shè)置了電荷存儲(chǔ)層，電荷存儲(chǔ)層結(jié)合第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)能更好的防止集電區(qū)注入的少子進(jìn)入到溝道區(qū)域中，從而能降低降低器件的飽和壓降。附圖說(shuō)明下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明：圖1是本發(fā)明實(shí)施例一實(shí)施例igbt器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例第二實(shí)施例igbt器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3a-圖3g是本發(fā)明一實(shí)施例方法各步驟中器件的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式本發(fā)明實(shí)施例一實(shí)施例igbt器件：如圖1所示，是本發(fā)明實(shí)施例一實(shí)施例igbt器件的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明一實(shí)施例igbt器件包括：漂移區(qū)1，由形成于半導(dǎo)體襯底(未顯示)表面的一導(dǎo)電類型輕摻雜區(qū)組成。本發(fā)明實(shí)施例一實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體襯底為硅襯底；在所述硅襯底表面形成有硅外延層，所述漂移區(qū)1直接由一導(dǎo)電類型輕摻雜的所述硅外延層組成，所述阱區(qū)2形成于所述漂移區(qū)1表面的所述硅外延層中。第二導(dǎo)電類型摻雜的阱區(qū)2，形成于所述漂移區(qū)1表面。在所述漂移區(qū)1的底部表面形成有由第二導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的集電區(qū)9。電荷存儲(chǔ)層14，所述電荷存儲(chǔ)層14形成于所述漂移區(qū)1的頂部區(qū)域且位于所述漂移區(qū)1和所述阱區(qū)2交界面的底部，所述電荷存儲(chǔ)層14具有一導(dǎo)電類重?fù)诫s。IGBT是將強(qiáng)電流、高壓應(yīng)用和快速終端設(shè)備用垂直功率MOSFET的自然進(jìn)化。北京好的Mitsubishi三菱IGBT模塊值得推薦

三菱的IGBT，除了電動(dòng)汽車用的650V以外，都是工業(yè)等級(jí)的。北京好的Mitsubishi三菱IGBT模塊值得推薦

    尾流）的降低，完全取決于關(guān)斷時(shí)電荷的密度，而密度又與幾種因素有關(guān)，如摻雜質(zhì)的數(shù)量和拓?fù)洌瑢哟魏穸群蜏囟?。少子的衰減使集電極電流具有特征尾流波形，集電極電流引起以下問(wèn)題：功耗升高；交叉導(dǎo)通問(wèn)題，特別是在使用續(xù)流二極管的設(shè)備上，問(wèn)題更加明顯。鑒于尾流與少子的重組有關(guān)，尾流的電流值應(yīng)與芯片的溫度、IC和VCE密切相關(guān)的空穴移動(dòng)性有密切的關(guān)系。因此，根據(jù)所達(dá)到的溫度，降低這種作用在終端設(shè)備設(shè)計(jì)上的電流的不理想效應(yīng)是可行的。阻斷與閂鎖當(dāng)集電極被施加一個(gè)反向電壓時(shí)，J1就會(huì)受到反向偏壓控制，耗盡層則會(huì)向N-區(qū)擴(kuò)展。因過(guò)多地降低這個(gè)層面的厚度，將無(wú)法取得一個(gè)有效的阻斷能力，所以，這個(gè)機(jī)制十分重要。另一方面，如果過(guò)大地增加這個(gè)區(qū)域尺寸，就會(huì)連續(xù)地提高壓降。第二點(diǎn)清楚地說(shuō)明了NPT器件的壓降比等效（IC和速度相同）PT器件的壓降高的原因。當(dāng)柵極和發(fā)射極短接并在集電極端子施加一個(gè)正電壓時(shí)，P/NJ3結(jié)受反向電壓控制，此時(shí)，仍然是由N漂移區(qū)中的耗盡層承受外部施加的電壓。IGBT在集電極與發(fā)射極之間有一個(gè)寄生PNPN晶閘管（如圖1所示）。在特殊條件下，這種寄生器件會(huì)導(dǎo)通。這種現(xiàn)象會(huì)使集電極與發(fā)射極之間的電流量增加。北京好的Mitsubishi三菱IGBT模塊值得推薦