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河南貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊

來源: 發(fā)布時間:2023-11-14

    溝道在緊靠柵區(qū)邊界形成。在C、E兩極之間的P型區(qū)(包括P+和P-區(qū))(溝道在該區(qū)域形成),稱為亞溝道區(qū)(Subchannelregion)。而在漏區(qū)另一側(cè)的P+區(qū)稱為漏注入?yún)^(qū)(Draininjector),它是IGBT特有的功能區(qū),與漏區(qū)和亞溝道區(qū)一起形成PNP雙極晶體管,起發(fā)射極的作用,向漏極注入空穴,進行導電調(diào)制,以降低器件的通態(tài)電壓。附于漏注入?yún)^(qū)上的電極稱為漏極(即集電極C)。IGBT的開關作用是通過加正向柵極電壓形成溝道,給PNP(原來為NPN)晶體管提供基極電流,使IGBT導通。反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關斷。IGBT的驅(qū)動方法和MOSFET基本相同,只需控制輸入極N-溝道MOSFET,所以具有高輸入阻抗特性。當MOSFET的溝道形成后,從P+基極注入到N-層的空穴(少子),對N-層進行電導調(diào)制,減小N-層的電阻,使IGBT在高電壓時,也具有低的通態(tài)電壓。IGBT原理方法IGBT是將強電流、高壓應用和快速終端設備用垂直功率MOSFET的自然進化。由于實現(xiàn)一個較高的擊穿電壓BVDSS需要一個源漏通道,而這個通道卻具有很高的電阻率,因而造成功率MOSFET具有RDS(on)數(shù)值高的特征,IGBT消除了現(xiàn)有功率MOSFET的這些主要缺點。雖然新一代功率MOSFET器件大幅度改進了RDS(on)特性。IGBT的開關作用是通過加正向柵極電壓形成溝道,給PNP(原來為NPN)晶體管提供基極電流,使IGBT導通。河南貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊

    由形成于半導體襯底表面的一導電類型輕摻雜區(qū)組成。第二導電類型摻雜的阱區(qū),形成于所述漂移區(qū)表面。在所述漂移區(qū)的底部表面形成有由第二導電類重摻雜區(qū)組成的集電區(qū)。電荷存儲層,所述電荷存儲層形成于所述漂移區(qū)的頂部區(qū)域且位于所述漂移區(qū)和所述阱區(qū)交界面的底部,所述電荷存儲層具有一導電類重摻雜;所述電荷存儲層用于阻擋第二導電類載流子從所述漂移區(qū)中進入到所述阱區(qū)中。多個溝槽,各所述溝槽穿過所述阱區(qū)和所述電荷存儲層且各所述溝槽的進入到所述漂移區(qū)中;一個所述igbt器件的單元結構中包括一個柵極結構以及形成于所述柵極結構兩側(cè)的第二屏蔽電極結構,在所述柵極結構的每一側(cè)包括至少一個所述第二屏蔽電極結構。所述柵極結構包括形成于一個對應的所述溝槽中的一屏蔽多晶硅和多晶硅柵的疊加結構,所述一屏蔽多晶硅組成一屏蔽電極結構。所述多晶硅柵位于所述一屏蔽多晶硅的頂部,所述一屏蔽多晶硅和對應的所述溝槽的底部表面和側(cè)面之間通過一屏蔽介質(zhì)層隔離,所述一屏蔽多晶硅和所述多晶硅柵之間通過多晶硅間介質(zhì)層隔離,所述多晶硅柵和所述溝槽的側(cè)面之間通過柵介質(zhì)層隔離。所述第二屏蔽電極結構由填充于所述柵極結構兩側(cè)的所述溝槽中的第二屏蔽多晶硅組成。安徽優(yōu)勢Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售價格反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關斷。

    但是在高電平時,功率導通損耗仍然要比IGBT技術高出很多。較低的壓降,轉(zhuǎn)換成一個低VCE(sat)的能力,以及IGBT的結構,同一個標準雙極器件相比,可支持更高電流密度,并簡化IGBT驅(qū)動器的原理圖。導通IGBT硅片的結構與功率MOSFET的結構十分相似,主要差異是IGBT增加了P+基片和一個N+緩沖層(NPT-非穿通-IGBT技術沒有增加這個部分)。如等效電路圖所示(圖1),其中一個MOSFET驅(qū)動兩個雙極器件?;膽迷诠荏w的P+和N+區(qū)之間創(chuàng)建了一個J1結。當正柵偏壓使柵極下面反演P基區(qū)時,一個N溝道形成,同時出現(xiàn)一個電子流,并完全按照功率MOSFET的方式產(chǎn)生一股電流。如果這個電子流產(chǎn)生的電壓在,那么,J1將處于正向偏壓,一些空穴注入N-區(qū)內(nèi),并調(diào)整陰陽極之間的電阻率,這種方式降低了功率導通的總損耗,并啟動了第二個電荷流。的結果是,在半導體層次內(nèi)臨時出現(xiàn)兩種不同的電流拓撲:一個電子流(MOSFET電流);一個空穴電流(雙極)。關斷當在柵極施加一個負偏壓或柵壓低于門限值時,溝道被禁止,沒有空穴注入N-區(qū)內(nèi)。在任何情況下,如果MOSFET電流在開關階段迅速下降,集電極電流則逐漸降低,這是因為換向開始后,在N層內(nèi)還存在少數(shù)的載流子(少子)。這種殘余電流值。

    2)IGBT模塊的散熱器應根據(jù)使用條件和環(huán)境及IGBT模塊參數(shù)進行匹配選擇,以保證GBT模塊工作時對散熱器的要求。為了減少接觸熱阻,推薦在散熱器與IGBT模塊之間涂上一層很薄的導熱硅脂。3)IGBT模塊安裝到散熱片上時,要先在模塊的反面涂上散熱絕緣混合劑(導熱膏),再用推薦的夾緊力距充分旋緊。另外,散熱片上安裝螺絲的位置之間的平坦度應控制在100μm以下,表面粗糙度應控制在10μm以下。散熱器表面如有凹陷,會導致接觸熱阻(Rth(c—f)的增加。另外,散熱器表面的平面度在上述范圍以外時,IGBT模塊安裝時(夾緊時)會給IGBT模塊內(nèi)部的芯片與位于金屬基板間的絕緣基板增加應力,有可能產(chǎn)生絕緣破壞。4)IGBT模塊底板為銅板的模塊,在散熱器與IGBT模塊均勻受力后,從IGBT模塊邊緣可看出有少許導熱硅脂擠出為佳。IGBT模塊底板為DBC基板的模塊,散熱器表面必須平整、光潔,采用絲網(wǎng)印刷或圓滾滾動的方法涂敷一薄層導熱硅脂后,使兩者均勻壓接。IGBT模塊直接固定在散熱器上時,每個螺釘需按說明書中給出的力矩旋緊,螺釘一定要受力均勻,力矩不足導致熱阻增加或運動中出現(xiàn)螺釘松動。兩點安裝緊固螺絲時,一個和第二個依次緊固額定力矩的1/3,然后反復多次使其達到額定力矩。當MOSFET的溝道形成后,從P+基極注入到N-層的空穴(少子),對N-層進行電導調(diào)制。

    被所述多晶硅柵6側(cè)面覆蓋的所述阱區(qū)2的表面用于形成溝道。由一導電類型重摻雜的發(fā)射區(qū)7形成在所述多晶硅柵6兩側(cè)的所述阱區(qū)2的表面。所述多晶硅柵6通過頂部對應的接觸孔連接到由正面金屬層12組成的金屬柵極,所述接觸孔穿過層間膜10。所述發(fā)射區(qū)通過頂部的對應的接觸孔連接到由正面金屬層12組成的金屬源極;令所述發(fā)射區(qū)頂部對應的接觸孔為源極接觸孔11,所述源極接觸孔11還和穿過所述發(fā)射區(qū)和所述阱區(qū)2接觸。本發(fā)明一實施例中,由圖1所示可知,在各所述單元結構中,所述源極接觸孔11和各所述屏蔽接觸孔連接成一個整體結構。所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b也分布通過對應的接觸孔連接到所述金屬源極。在所述集電區(qū)9的底部表面形成有由背面金屬層13組成的金屬集電極。通過形成于所述柵極結構兩側(cè)的具有溝槽101式結構的所述第二屏蔽電極結構降低igbt器件的溝槽101的步進,從而降低igbt器件的輸入電容、輸出電容和逆導電容,提高器件的開關速度;通過將所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b和所述金屬源極短接提高器件的短路電流能力;通過所述電荷存儲層14減少器件的飽和壓降。圖1中,一個所述單元結構中包括5個所述溝槽101。它與GTR的輸出特性相似.也可分為飽和區(qū)1、放大區(qū)2和擊穿特性3部分。河南貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊

不同封裝形式的IGBT,其實主要就是為了照顧IGBT的散熱。河南貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊

    模塊的內(nèi)部等效電路多個管芯并聯(lián)時,柵極已經(jīng)加入柵極電阻,實際的等效電路如圖2所示。不同制造商的模塊,柵極電阻的阻值也不相同;不過,同一個模塊內(nèi)部的柵極電阻,其阻值是相同的。圖2單管模塊內(nèi)部的實際等效電路圖IGBT單管模塊通常稱為1in1模塊,前面的“1”表示內(nèi)部包含一個IGBT管芯,后面的“1”表示同一個模塊塑殼之中。2.半橋模塊,2in1模塊半橋(Halfbridge)模塊也稱為2in1模塊,可直接構成半橋電路,也可以用2個半橋模塊構成全橋,3個半橋模塊也構成三相橋。因此,半橋模塊有時候也稱為橋臂(Phase-Leg)模塊。圖3是半橋模塊的內(nèi)部等效。不同的制造商的接線端子名稱也有所不同,如C2E1可能會標識為E1C2,有的模塊只在等效電路圖上標識引腳編號等。圖3半橋模塊的內(nèi)部等效電路半橋模塊的電流/電壓規(guī)格指的均是其中的每一個模塊單元。如1200V/400A的半橋模塊,表示其中的2個IGBT管芯的電流/電壓規(guī)格都是1200V/400A,即C1和E2之間可以耐受高2400V的瞬間直流電壓。不僅半橋模塊,所有模塊均是如此標注的。3.全橋模塊,4in1模塊全橋模塊的內(nèi)部等效電路如圖4所示。圖4全橋模塊內(nèi)部等效電路全橋(Fullbridge)模塊也稱為4in1模塊,用于直接構成全橋電路。河南貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊