本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體芯片的制作過程中，整個(gè)晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進(jìn)行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片，之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因?yàn)槟び姓承?，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時(shí)，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細(xì)，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí)，因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏希挥许斸樏俺霭研酒斏?，芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應(yīng)厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時(shí)。對于細(xì)小頂針的測試我司也有豐富的經(jīng)驗(yàn)微克檢測設(shè)備限公司結(jié)合市場上客戶需要。武漢頂針工廠

    導(dǎo)桿442頂端固定于頂塊500上方的限位塊441中。導(dǎo)桿442的外壁為光滑表面，以使頂塊500能夠順滑的在導(dǎo)桿442上滑動(dòng)。限位彈簧440套接于導(dǎo)桿442上，其兩端分別與頂塊500與限位塊441相抵，以使頂塊500與限位塊441在沒有外力作用時(shí)能夠維持撐開狀態(tài)。如圖6與圖8所示，限位塊441的兩側(cè)具有和殼筒335的凸耳336間形成間隙的讓位凹口445，限位塊411的頂壁**具有外徑略小于蓋板335限位凹腔337的凸臺443，凸臺443的**具有供頂塊500頂部540伸出的開孔。限位塊441位于凸臺443外的頂壁上還設(shè)有凸出頂壁的臺階444與限位柱446。該限位柱446在頂升頭400活動(dòng)的過程中始終插于蓋板335的限位孔338中，以對頂升頭400進(jìn)行限位，避免其自旋，當(dāng)限位塊441頂面與蓋板335底面相抵時(shí)，由于讓位凹口445與臺階444的存在，限位塊441與蓋板335間能夠形成間隙，使真空吸頭330的氣路能保持通暢。頂升頭400的運(yùn)動(dòng)方式如下：運(yùn)行時(shí)，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)頂升頭400上升，使限位塊411頂部的凸臺443與蓋板335底部的限位凹腔337相抵，實(shí)現(xiàn)限位，隨后頂升頭400繼續(xù)上升，頂塊500克服限位彈簧440的彈力沿著導(dǎo)桿442上升，使頂塊500的頂部520穿過限位塊411上的開孔并從蓋板335的中心孔333處穿出。如圖1、圖3、圖5與圖6所示。K型抽芽頂針品牌哪家好所以對頂針探針的一些測試指標(biāo)就有所要求。

    設(shè)于所述頂升頭中且連通所述凹腔與所述第二氣道的第三氣道。從而能夠通過氣管接頭實(shí)現(xiàn)對凹腔的充放氣。作為本發(fā)明的推薦實(shí)施方式，所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)還包括與所述氣管接頭相連的電磁閥。從而能夠通過電磁閥控制氣管接頭的充放氣。本發(fā)明采用空氣頂針的模式，替換傳統(tǒng)的鋼制頂針，不會(huì)有受力集中的問題，能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離，而不會(huì)損傷芯片，相比現(xiàn)有技術(shù)取得了***的進(jìn)步。附圖說明下面結(jié)合圖片來對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的說明：圖1為本發(fā)明的立體視圖；圖2為本發(fā)明中a部分的局部放大圖；圖3為本發(fā)明的側(cè)視圖；圖4為本發(fā)明的b-b面剖視圖；圖5為本發(fā)明中b部分的局部放大圖；圖6為本發(fā)明中c部分的局部放大圖；圖7為本發(fā)明中支撐筒的剖視圖；圖8為本發(fā)明中真空吸頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)視圖；圖9為本發(fā)明中蓋板的底面視圖；圖10為定位盤處于初始零點(diǎn)時(shí)的工作視圖；圖11為定位盤處于預(yù)定角度a時(shí)的工作視圖；其中：100-橫向直線導(dǎo)軌，101-***軌道，102-***伺服電機(jī)，103-***絲杠，104-***滑塊，200-縱向直線導(dǎo)軌，201-第二軌道，202-第二伺服電機(jī)，203-第二絲杠，204-第二滑塊，310-基座，311-底板，312-豎板，313-頂板，314-通孔，320-支撐筒，321-氣嘴，322-***氣道。

    蘇州菲唐檢測設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境檢測設(shè)備、力學(xué)檢測設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售服務(wù)的****，公司以科技進(jìn)步為先導(dǎo)，以市場需求為基礎(chǔ)，注重高素質(zhì)專業(yè)人才的引進(jìn)與培養(yǎng)。蘇州菲唐秉持著“敬業(yè)、團(tuán)體、創(chuàng)新”的企業(yè)精神，逐步形成了**的技術(shù)**。研制好的產(chǎn)品，提供好的服務(wù)。監(jiān)于『質(zhì)量管理』是國際性產(chǎn)品的必然性，菲唐專業(yè)制造環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備。多年以來，成功開發(fā)了幾十余種各類的試驗(yàn)儀器。本公司研制的試驗(yàn)儀器主要適用于：連接器、端子、接插件、線束、汽車、硅膠按鍵、計(jì)算機(jī)電腦、手機(jī)、電子、橡膠、塑料、鞋業(yè)、造紙包裝業(yè)、機(jī)械五金業(yè)、建材業(yè)、電線電纜。公司主營產(chǎn)品：連接器插拔力試驗(yàn)機(jī)、按鍵開關(guān)荷重行程手感導(dǎo)通試驗(yàn)機(jī)、全自動(dòng)扭力試驗(yàn)機(jī)、彈簧拉壓力試驗(yàn)機(jī)試驗(yàn)機(jī)、信賴性檢測設(shè)備、包裝檢測設(shè)備、高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、高低溫濕熱交變試驗(yàn)箱、高低溫沖擊試驗(yàn)箱、冷熱沖擊試驗(yàn)箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱、可程式恒溫恒濕試驗(yàn)箱、積架式恒溫恒濕試驗(yàn)箱、復(fù)合型恒溫恒濕試驗(yàn)箱、應(yīng)力篩選型恒溫恒濕試驗(yàn)箱、熱循環(huán)試驗(yàn)箱、冷熱沖擊試驗(yàn)箱、應(yīng)力篩選型冷熱沖擊箱、高低溫低氣壓試驗(yàn)機(jī)、PCT飽和加速壽命試驗(yàn)機(jī)、QUV紫外光老。試驗(yàn)機(jī)校準(zhǔn)不設(shè)任何密碼，可以自主校驗(yàn)，保質(zhì)期過后可以自主找其他供貨商維修。

    該升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)于c形基座310上的升降裝置、穿設(shè)于支撐筒320中的貫通孔324內(nèi)的頂桿410以及用于連接頂桿410與頂塊500的連接塊510。如圖5與圖7所示，頂桿410上由上至下依次套設(shè)有導(dǎo)套430與彈簧420，導(dǎo)套430與位于貫通孔324頂部的阻擋部325相抵，彈簧420與位于頂桿410底部的凸起端頭411相抵。頂桿410底部的凸起端頭411穿過基座310上的通孔314伸入基座310中。頂桿410的頂端穿出阻擋部325伸入真空吸頭330的殼筒334內(nèi)。如圖6所示，連接塊510置于殼筒334內(nèi)，連接塊510的底面上具有容置腔511，頂桿410頂端伸入該容置腔511內(nèi)，連接塊510的外壁上設(shè)有滑槽513，該滑槽513內(nèi)布置有定位桿514，定位桿514插設(shè)于支撐筒320頂壁上的定位插孔內(nèi)，以此來避免連接塊510發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。連接塊510的外壁上還設(shè)有連通容置腔511的連接孔515，通過穿入連接孔515并與頂桿410外壁相抵的螺栓實(shí)現(xiàn)頂桿410與連接塊510的連接固定。為便于組裝與拆卸，連接塊510與頂塊500間的連接方式如圖6所示：頂塊500的底面上設(shè)有放置腔，放置腔內(nèi)設(shè)有圈形磁鐵560，連接塊510吸附于該圈形磁鐵560上。使連接塊510與頂塊500間能夠方便的通過磁力進(jìn)行裝配與分離。如圖1和圖5所示。2006年成功申請多項(xiàng)國家力學(xué)試驗(yàn)機(jī)。湖州納米頂針

對于一版有多個(gè)探針（頂針）的產(chǎn)品，我司可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測試。武漢頂針工廠

    10只）測試探針連接桿萬用表筆特尖針表筆測試線硅膠萬用表表筆組合換針華榮探針PCB彈簧頂針I(yè)CT大號探針測試針測試探針/針套P100系藍(lán)牙耳機(jī)pogopin充電彈簧針伸縮測試天線頂針大電流PCB探針觸點(diǎn)針測試針P50探針華榮華B1尖頭A2凹杯D2圓形Q2四爪2S可伸縮彈簧頂針測試針P75-B1探針可伸縮彈華榮華簧頂針頭pcb電路板針套圓爪尖頭測試探針p100可伸縮彈簧頂針華榮華電路板燒錄芯片圓頭平頭針套測試針P50探針華榮華B1尖頭G2平頭D2圓頭Q1四爪可伸縮彈簧頂針測試針探針PL75可伸縮彈簧頂針頭電路板華榮華圓頭平頭傘型頭針套P100-B（尖頭）測試針、探針、、彈簧針（10只）彈簧頂針大電流探針測試針pogopin彈簧插針彈簧天線頂針伸縮銅針測試針P50探針可伸縮彈簧頂針華榮華B1尖頭A2凹杯D2圓形Q2四爪2S華榮華探針p100測試針pcb電路板燒錄芯片A2頭針套可伸縮彈簧頂針測試針探針可伸縮PL75-B1彈簧頂針頭pcb電路板華榮華針套圓爪尖頭華榮探針PCB彈簧頂針I(yè)CT測試探針測試針測試探針/針套P100系原裝華榮測試針探針P100-A2BD2E2HJLM2彈簧針探針尖頭平梅花圓PH-2A2H3H4B5D5J5H6G華榮探針彈簧頂針一體探針測試針pogopin大電流彈簧頂針電池連接器測試探針雙頭針PIN針定位針觸針1mm粗探針汽車維修測試。武漢頂針工廠

蘇州昕昀科技有限公司是一家生產(chǎn)型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。昕昀科技是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，一直“以人為本，服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營理念;“誠守信譽(yù)，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則，致力于提供高質(zhì)量的沖頭，非標(biāo)件，襯套。昕昀科技自成立以來，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。