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上海頂針印

來源: 發(fā)布時間:2021-10-27

    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過程中,整個晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨芯片,之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來,轉(zhuǎn)入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因為膜有粘性,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時,頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細,針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會頂破膜。頂針頂升時,因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜會從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對應(yīng)厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時。該豎直貫孔與第三氣道550間通過圈形磁鐵560的吸附力實現(xiàn)氣密。上海頂針印

    一般A4紙即可)測試資料儲存于硬碟(每一筆資料皆可儲存,不限次數(shù))測試條件皆由電腦畫面設(shè)定(含測試行程、速度、次數(shù)、空壓、暫停時間等等)檢驗報表抬頭內(nèi)容可隨時修改(中英文皆可)檢驗報表可自動產(chǎn)生,不須再作輸入。檢驗報表可轉(zhuǎn)換為Excel等文書報表格式。頂針探針荷重行程阻抗試驗機規(guī)格:測試荷重種類;2kgf、500gf(任選1個)顯示荷重:測試行程:100mm顯示行程:()測定速度范圍:1-300mm/min(壽命測試可以一分鐘**60次)傳動機構(gòu):滾珠螺桿采樣速率:27KHZ在線式充電槍插拔力試驗機簡介:本機主要用于充電槍流水線上批量檢測插入力與拔出力而設(shè)計,本機采用臥式設(shè)計,模擬用戶使用方式:充電座固定,充電槍以一定速度運行測試,以檢測出充電槍的插拔力。利用WINDOWS,視窗中文畫面設(shè)定,操作簡單方便,且所有資料皆可儲存(試驗條件,位移曲線圖,壽命曲線圖,檢查報表----等等),機器可以設(shè)置插入力與拔出力上下限的力值范圍,所測力超出范圍可以報警輸出。是一款綜合性價比較強的用于充電槍流水線上測試儀器。試驗過程:本在線式充電槍插拔力試驗機適合量產(chǎn)插拔力檢測,當充電槍插入到試驗機插口里面,極限開關(guān)信號檢測到充電槍已插到位。江蘇頂針漏氣此款試驗機為測試頂針探針量身定制,頂針和探針力值、行程、接觸電阻為三個主要測試指標。

    探針頂針荷重行程阻抗試驗機簡介:探針頂針荷重行程阻抗試驗機適用于各種頂針、探針、按鍵、開關(guān)之荷重-行程-阻抗曲線測試。測試產(chǎn)品力值行程的同時可以測試接觸電阻。頂針探針一般行程零點幾毫米的時候力值才20克左右,力值小,行程精度高所以對試驗機要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內(nèi),對測頭以及測試底板表面處理要求高。我司此款試驗機測試頂針探針荷重行程的同時可以測試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗機我司有兩款,一款是單軸的,適合抽檢測試,工程分析測試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測試,同時顯示出接觸電阻。此機器還可以測試壽命測試??梢栽O(shè)定打擊多少次以后就進行壽命測試。目前我司試驗機技術(shù)先進:DSP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),工業(yè)以太網(wǎng)傳輸數(shù)據(jù),采樣速率高達27kHZ,***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗機特點:量測曲線圖由電腦記憶,可隨時放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個曲線圖。測定專桉可輸入上、下限規(guī)格值,測定結(jié)果可自動判定OK或NO。可輸入測定行程及荷重,電腦自動控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲存荷重-行程曲線圖、檢查報表。(不需要方格紙。

    帽蓋上設(shè)有供頂針的針體穿過的通孔。進一步的,帽蓋的頂部為平面且該平面平行于球缺底面。進一步的,通孔垂直于帽蓋的底面。進一步的,通孔以帽蓋的球冠頂點為中心圓周分布,通孔的分布圈數(shù)大于等于2,帽蓋的球冠頂點設(shè)有通孔。進一步的,外圈的通孔的頂部高于帽體上頂面或與帽體的上頂面齊平。進一步的,頂針的數(shù)量大于等于1個。進一步的,帽體的頂面設(shè)有安裝槽,帽蓋的底面邊緣處設(shè)有配合安裝槽使用安裝塊。進一步的,安裝槽靠近帽體的外壁設(shè)有倒角,倒角的一邊與安裝塊接觸。進一步的,倒角為45度倒角。本實用新型的有益效果是:本實用新型提供了一種球面頂針帽,將帽蓋的結(jié)構(gòu)從平板改為球缺,當頂針上頂芯片貼膜時,球缺形的帽蓋能給貼膜一個輕微的形變,使芯片貼膜能有一個向下的預(yù)張力,在配合頂針向上頂,能有效的使芯片與貼膜分離。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術(shù)方案,下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹,應(yīng)當理解,以下附圖*示出了本實用新型的某些實施例,因此不應(yīng)被看作是對范圍的限定,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。圖1為實施例一提供的球面頂針帽的剖視圖。試驗機硬件驅(qū)動,系統(tǒng)備份,解決客戶的后顧之憂。

    該升降裝置包括第三伺服電機340、凸輪341、半圓狀的定位盤342與傳感器350。第三伺服電機340固定于豎板312外側(cè),其電機軸穿過豎板312上的開孔伸入基座310里側(cè),凸輪341與定位盤342依次套設(shè)于電機軸上。凸輪341與頂桿410的凸起端頭411相抵。從而能夠通過第三伺服電機340的旋轉(zhuǎn),依次驅(qū)動凸輪341、頂桿410、連接塊510,帶動頂塊500的升降。傳感器350安裝于豎板312上,傳感器350中間設(shè)有一道感應(yīng)凹槽351,定位盤342能夠在旋轉(zhuǎn)時穿過該感應(yīng)凹槽351,被傳感器350感應(yīng)。通過傳感器350感應(yīng)定位盤342,使該升降裝置能夠初始化頂升頭400的初始位置,并且能夠精確控制頂升頭400的頂升高度,例如圖10、圖11所示,傳感器350感應(yīng)到定位盤342的直徑邊緣342a作為起始零點,通過感應(yīng)定位盤342旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度a控制頂升頭400的頂升高度。如圖3、圖5與圖6所示,該頂桿410的凸起端頭411上設(shè)有氣管接頭412、該頂桿410內(nèi)具有連通氣管接頭412的第二氣道413,第二氣道413連通位于頂桿410頂部的第二氣孔414。如圖6所示,該連接塊510中具有豎直貫孔,該豎直貫孔分別連通第二氣孔414與圈形磁鐵560的中心孔。如圖6所示,該頂塊500內(nèi)具有連通方形凹腔541與圈形磁鐵560中心孔的第三氣道550。采用這樣的結(jié)構(gòu),使進氣機構(gòu)的氣路與真空吸頭330的氣路相對穩(wěn)定。常州好頂針

目前中國的實體經(jīng)濟由于用人成本的增加。上海頂針印

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