該升降裝置包括第三伺服電機340、凸輪341、半圓狀的定位盤342與傳感器350。第三伺服電機340固定于豎板312外側,其電機軸穿過豎板312上的開孔伸入基座310里側,凸輪341與定位盤342依次套設于電機軸上。凸輪341與頂桿410的凸起端頭411相抵。從而能夠通過第三伺服電機340的旋轉,依次驅動凸輪341、頂桿410、連接塊510,帶動頂塊500的升降。傳感器350安裝于豎板312上,傳感器350中間設有一道感應凹槽351,定位盤342能夠在旋轉時穿過該感應凹槽351,被傳感器350感應。通過傳感器350感應定位盤342,使該升降裝置能夠初始化頂升頭400的初始位置,并且能夠精確控制頂升頭400的頂升高度,例如圖10、圖11所示,傳感器350感應到定位盤342的直徑邊緣342a作為起始零點,通過感應定位盤342旋轉預定角度a控制頂升頭400的頂升高度。如圖3、圖5與圖6所示,該頂桿410的凸起端頭411上設有氣管接頭412、該頂桿410內具有連通氣管接頭412的第二氣道413,第二氣道413連通位于頂桿410頂部的第二氣孔414。如圖6所示,該連接塊510中具有豎直貫孔,該豎直貫孔分別連通第二氣孔414與圈形磁鐵560的中心孔。如圖6所示,該頂塊500內具有連通方形凹腔541與圈形磁鐵560中心孔的第三氣道550。蘇州昕昀科技有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境檢測設備、力學檢測設備研發(fā)、生產、銷售服務的****。江蘇藍頂針
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設于所述頂升頭中且連通所述凹腔與所述第二氣道的第三氣道。從而能夠通過氣管接頭實現對凹腔的充放氣。作為本發(fā)明的推薦實施方式,所述進氣機構還包括與所述氣管接頭相連的電磁閥。從而能夠通過電磁閥控制氣管接頭的充放氣。本發(fā)明采用空氣頂針的模式,替換傳統(tǒng)的鋼制頂針,不會有受力集中的問題,能夠對厚度為100微米以下的芯片進行剝離,而不會損傷芯片,相比現有技術取得了***的進步。附圖說明下面結合圖片來對本發(fā)明進行進一步的說明:圖1為本發(fā)明的立體視圖;圖2為本發(fā)明中a部分的局部放大圖;圖3為本發(fā)明的側視圖;圖4為本發(fā)明的b-b面剖視圖;圖5為本發(fā)明中b部分的局部放大圖;圖6為本發(fā)明中c部分的局部放大圖;圖7為本發(fā)明中支撐筒的剖視圖;圖8為本發(fā)明中真空吸頭的內部結構視圖;圖9為本發(fā)明中蓋板的底面視圖;圖10為定位盤處于初始零點時的工作視圖;圖11為定位盤處于預定角度a時的工作視圖;其中:100-橫向直線導軌,101-***軌道,102-***伺服電機,103-***絲杠,104-***滑塊,200-縱向直線導軌,201-第二軌道,202-第二伺服電機,203-第二絲杠,204-第二滑塊,310-基座,311-底板,312-豎板,313-頂板,314-通孔,320-支撐筒,321-氣嘴,322-***氣道。
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