帽蓋100與帽體200的安裝方式不同；具體的，帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600，安裝槽600位于帽體200頂面中部，主要通過安裝塊120卡于安裝槽600的開槽位置來使帽蓋100固定在帽體200上，帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120，用以更好的可拆卸安裝在帽體200上，安裝塊120的形狀不做具體限制，當(dāng)然在其他實施例中也可以不按此設(shè)置；安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210，倒角210的一邊與安裝塊120的上表面接觸，避免貼膜400與帽蓋100接觸時，在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下，芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導(dǎo)致的破損。實施例三：本實施例與實施例一大體一致，如圖6所示，主要區(qū)別點在于，帽蓋100與帽體200的安裝方式不同；具體的，帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600，安裝槽600位于帽體200頂面中部，主要通過帽蓋100本身的彈性形變來使帽蓋100夾持固定在帽體200上，帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120，用以更好的可拆卸安裝在帽體200上，安裝塊120的形狀不做具體限制；安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210，倒角210的一邊與安裝塊120的下表面接觸，避免貼膜400與帽蓋100接觸時，在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下。具體頂針探針阻抗彈力試驗機(jī)技術(shù)規(guī)格及參數(shù)或需求更多產(chǎn)品可來電查詢。杭州頂針批發(fā)

    323-***氣孔，324-貫通孔，325-擋圈，330-真空吸頭，332-吸氣孔，333-中心孔，334-殼筒，335-蓋板,336-凸耳，337-限位凹腔，338-限位孔，340-第三伺服電機(jī)，341-凸輪，342-定位盤，350-傳感器，351-感應(yīng)凹槽，360-支架，370-電磁閥，380-坦克鏈，400-頂升頭，410-頂桿，411-凸起端頭，412-氣管接頭，413-第二氣道，414-第二氣孔，420-彈簧，430-導(dǎo)套，440-限位彈簧，441-限位塊，442-導(dǎo)桿，443-凸臺，444-臺階，445-讓位凹口，446-限位柱，500-頂塊，510-連接塊，511-容置腔，512-密封圈，513-滑槽，514-定位桿，515-連接孔，520-底部，530-中部，540-頂部，541-凹腔，550-第三氣道，560-圈形磁鐵。具體實施方式以下通過具體實施例來對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步闡述：如圖1和圖4所示的空氣頂針式芯片膜上分離裝置，包括xy平面運動機(jī)構(gòu)、真空吸頭330、設(shè)于真空吸頭330內(nèi)的頂升頭400、控制頂升頭400升降的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及控制頂升頭400充放氣的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。如圖1和圖4所示，xy平面運動機(jī)構(gòu)包括橫向直線導(dǎo)軌100、縱向直線導(dǎo)軌200。上海頂針定制價格彈力太小或太大、接觸電阻太大、行程不符合要求都會對測試產(chǎn)生影響。所以就需要對此些數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測。

    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體芯片的制作過程中，整個晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進(jìn)行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨芯片，之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因為膜有粘性，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細(xì)，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會頂破膜。頂針頂升時，因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜會從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應(yīng)厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時。

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    探針頂針荷重行程阻抗試驗機(jī)簡介:探針頂針荷重行程阻抗試驗機(jī)適用于各種頂針、探針、按鍵、開關(guān)之荷重-行程-阻抗曲線測試。測試產(chǎn)品力值行程的同時可以測試接觸電阻。頂針探針一般行程零點幾毫米的時候力值才20克左右，力值小，行程精度高所以對試驗機(jī)要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內(nèi)，對測頭以及測試底板表面處理要求高。我司此款試驗機(jī)測試頂針探針荷重行程的同時可以測試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗機(jī)我司有兩款，一款是單軸的，適合抽檢測試，工程分析測試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測試，同時顯示出接觸電阻。此機(jī)器還可以測試壽命測試。可以設(shè)定打擊多少次以后就進(jìn)行壽命測試。目前我司試驗機(jī)技術(shù)先進(jìn):DSP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，工業(yè)以太網(wǎng)傳輸數(shù)據(jù)，采樣速率高達(dá)27kHZ，***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗機(jī)特點:量測曲線圖由電腦記憶，可隨時放大、縮小，一張A4紙可任意指定放置N個曲線圖。測定專桉可輸入上、下限規(guī)格值，測定結(jié)果可自動判定OK或NO。可輸入測定行程及荷重，電腦自動控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲存荷重-行程曲線圖、檢查報表。（不需要方格紙。杭州頂針批發(fā)

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