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本發(fā)明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術：在半導體芯片的制作過程中，整個晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨芯片，之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因為膜有粘性，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會頂破膜。頂針頂升時，因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜會從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時。珠海進口頂針對于一版有多個探針（頂針）的產(chǎn)品，我司可以實現(xiàn)全自動測試。
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芯片上方的真空吸嘴和頂升頭400同步向上移動，頂升頭400伸出至高出頂壁約2mm左右后，停止上升，緊接著在真空吸嘴繼續(xù)上升的同時，打開與氣管接頭412連接的電磁閥370，向方形凹腔541內(nèi)充氣，從而使得粘性膜對應在凹腔541上的區(qū)域形成向上突起的鼓包，這時，芯片四周邊緣就會與粘性膜分離，隨著凸起越來越高，芯片的邊緣開始脫離，脫離部分越來越多，直到芯片與膜之間只有一小部分粘連，粘力很小，這時再驅(qū)動真空吸嘴將芯片吸走。***，將凹腔541中的氣體排出并驅(qū)動頂升頭400下降并停止真空吸頭抽真空，使整個裝置還原到初始狀態(tài)后通過移動粘性膜使下個芯片與頂升頭400的凹腔541對準，以進行下一輪芯片與膜的剝離。本發(fā)明采用空氣頂針的模式，替換傳統(tǒng)的鋼制頂針，不會有受力集中的問題，能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進行剝離，而不會損傷芯片，相比現(xiàn)有技術取得了***的進步。但是，本技術領域中的普通技術人員應當認識到，以上的實施例*是用說明本發(fā)明，而并非用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實質(zhì)精神范圍內(nèi)，對以上所述實施例的變化、變型都將落在本發(fā)明的權利要求書范圍內(nèi)。產(chǎn)品適用于考察...三軸頂針探針阻抗荷重行程試驗機簡介。
頂針和探針力值、行程、接觸電阻為三個主要測試指標。我司此款機器可以同時測試頂針的荷重-位移-電阻曲線,是一款很好的頂針探針試驗機器。在測試頭更多詳細X-Y-Z四頭荷重位移曲線測試機此款X-Y-Z四頭荷重位移曲線測試機，適用于批量測試同樣規(guī)格產(chǎn)品如：電腦鍵盤、遙控器、控制面板按鍵等。將同規(guī)格產(chǎn)品放置測試平臺，設定一個坐標，其他通道坐標自動生成。測試時各工位的曲線同時顯示在電腦屏幕更多詳細免責聲明：以上所展示的[頂針探針阻抗彈力試驗機]由會員[東莞市微克檢測設備有限公司]自行提供，[頂針探針阻抗彈力試驗機]內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員[東莞市微克檢測設備有限公司]負責。[阿儀網(wǎng)]對此不承擔任何責任友情提醒：為規(guī)避購買風險，建議您在購買相關產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)以及產(chǎn)品質(zhì)量！公司主要產(chǎn)品有：力學檢測儀器、中英文工控組態(tài)軟件、力量傳感器，阻抗模塊，數(shù)據(jù)采集卡等等。浙江塑料頂針
公司主營產(chǎn)品：連接器插拔力試驗機、按鍵開關荷重行程手感導通試驗機、全自動扭力試驗機。深圳鎢鋼成型頂針
按鍵開關荷重曲線機，連接器插拔力試驗機經(jīng)過我司所有員工多年的努力，國內(nèi)市場占有率達80%,功能強大、性能可靠、走在同行業(yè)的前沿。2009年開始批量供貨給集團客戶使用，2010年開始公司業(yè)績已遍布全球，2012年成功出口到日韓市場，中國臺灣市場以及歐美市場。2013年我司自主研發(fā)出具有國際先進技術的采集卡，為我司產(chǎn)品的更新?lián)Q代奠定了堅實的基礎。面對同行的挑戰(zhàn)，我們微克人堅信：產(chǎn)品可以復制，品質(zhì)無法超越！16年我司的插拔力試驗機程序和荷重位移曲線儀程序已成功獲得程序著作權。公司主要專業(yè)客戶有：橡塑、汽車零部件、連接器、端子、接插件、線束、按鍵、開關、彈簧、轉(zhuǎn)軸等廠家。綜合性客戶有：汽車行業(yè)、手機、電腦、家用電器、醫(yī)療、研究所、機電、通訊設備等廠家。還有與許多**航天工廠合作一些大型的步入式恒溫恒濕試驗房，高低溫試驗箱等。對于對應每個專業(yè)或行業(yè)的品牌客戶本公司都與其合作過，國內(nèi)國際**客戶不勝枚舉。我司專業(yè)的力學試驗機除了標準的拉力試驗機，剝離力試驗機，材料試驗機以外還有針對連接器、端子、按鍵、旋鈕等的一些專業(yè)性檢測設備如插拔力，按鍵荷重曲線儀，扭力試驗機，彈簧拉壓試驗機。另外我司也配套生產(chǎn)模擬環(huán)境試驗箱。深圳鎢鋼成型頂針
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