3.壓差檢測(cè):潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測(cè)通過(guò)對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過(guò)快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過(guò)慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此,氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的各種表面,如墻壁、地面、設(shè)備外殼等,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測(cè)通過(guò)對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè),評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。蔚亞科技檢測(cè)技術(shù)嚴(yán)格按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行。江蘇消毒液凈化車(chē)間環(huán)境檢測(cè)服務(wù)至上
(七)室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器,設(shè)備測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場(chǎng)所分別測(cè)定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過(guò)程及判定(1)測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。(2)潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣,除房間兩對(duì)角線(xiàn)相交的室中心位置外,另在房間四角對(duì)角線(xiàn)上對(duì)稱(chēng)的選取4點(diǎn)。(3)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。(4)被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。(5)被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑或沉降菌、浮游菌、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測(cè)潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測(cè)試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書(shū)測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況.(7)測(cè)試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。廣東生物安全柜檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格溫濕度波動(dòng)范圍的控制對(duì)于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類(lèi)測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。一般空調(diào)系統(tǒng)對(duì)系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求。
②沉降菌的測(cè)試對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開(kāi)始;對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開(kāi)始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn),打開(kāi)培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理,把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去,用潔凈氣流置換污染氣流。河北實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)服務(wù)至上
持續(xù)改進(jìn)潔凈室檢測(cè)流程和方法,提高檢測(cè)效率和效果。江蘇消毒液凈化車(chē)間環(huán)境檢測(cè)服務(wù)至上
(1)檢測(cè)前,被測(cè)潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài),其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi);被測(cè)試的潔凈室(區(qū))應(yīng)已進(jìn)行過(guò)消毒;同時(shí),潔凈室的測(cè)試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求,并在測(cè)試報(bào)告中注明其測(cè)試狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))。(2)測(cè)試人員必須穿戴潔凈服,而且一般不得超過(guò)兩個(gè)人。(3)凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單向流如5級(jí)(100級(jí))潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min;對(duì)非單向流如7級(jí)(10000級(jí))、8級(jí)(100000級(jí))的潔凈室不得少于30min。江蘇消毒液凈化車(chē)間環(huán)境檢測(cè)服務(wù)至上