5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規(guī)定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構(gòu)造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。潔凈室是指空氣潔凈度達到規(guī)定級別的可供人活動的空間。安徽氣流潔凈室檢測第三方檢測機構(gòu)

D.3.5氣流流型的檢測，應符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法，并應用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術(shù)進***流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等，應根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。江蘇風速潔凈室檢測頻率斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風閥，以增加風量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調(diào)速裝置后，送風量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風機采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風機停轉(zhuǎn)無風或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設備損壞甚至發(fā)生火災，本條強制性規(guī)定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：1應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。3應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。8.1.5可燃氣體管道、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。

單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設備和可變風量的風機等入手。溫濕度潔凈室檢測規(guī)范性強

干管應敷設在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。安徽氣流潔凈室檢測第三方檢測機構(gòu)

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規(guī)定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發(fā)電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。安徽氣流潔凈室檢測第三方檢測機構(gòu)