免费视频禁止18网站,破解福利av软件大全,成人在线亚洲,日本护士在线视频xxxx免费,伊人狠狠丁香婷婷综合色,免费黄色网站视频在线观看,亚洲国产成人99精品激情在线

并使轉動部件圍繞上下方向的軸進行轉動。轉動部通過來自轉動驅動部的驅動力而轉動，能夠使升降驅動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進行轉動。通過該轉動部能夠將被保持部53保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運車50也可以不具備轉動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結構(同一結構或者大致同一結構)。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41...

將沿上下方向和y方向排列的多個第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個作為第1、第二交接端口30a、30b，并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對第1、第二交接端口30a、30b標注影線。這樣，作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層，由此能夠通過高架搬運車50和第1、第二起重機40a、40b雙方進行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個，能夠將較上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并...

前端活動架位于中間活動板的前端側，中間活動板與固定安裝豎板之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副，前端活動架與中間活動板之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副，前端活動架的下端部裝設有吸盤安裝架，吸盤安裝架裝設有真空吸盤；固定安裝豎板的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽，前端活動架螺裝有活動架驅動塊，活動架驅動塊裝設有活動架驅動軸，活動架驅動軸伸入至固定安裝豎板的活動槽內且活動架驅動軸裝設有嵌插于活動槽內的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設有機械手驅動電機，機械手驅動電機的動力輸出軸裝設有位于活動槽旁側且用于撥動活動架驅動軸動作的驅動軸撥動塊。通過上述結構設計，本實用新型具有設計新穎、結構簡單、穩(wěn)定...

搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一...

可旋轉360°，垂臂旋轉座與副旋轉軸相連接，副旋轉軸與下垂臂相連接，下垂臂上設有扶手，扶手上設有電腦控制盒，下垂臂末端設有真空吸盤，真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運機械手，屬于一種機械手。機械手立柱頂端設有主旋轉座，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，大側板左側下端設有主升降氣缸，主旋轉座和大側板之間設有主關節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接，另一端分別與連接板相連接，橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接，旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節(jié)鎖死裝置，旋轉臂末端設有垂臂旋轉座，垂臂旋轉座與副旋轉軸相連接，副旋轉軸與下垂臂相連接，下垂臂末端設有真空吸盤。該機械手...

第1、第二起重機40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。高架搬運車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進行物品2的交接。圖5是表示高架搬運車50的一個例子的圖。如圖5所示，高架搬運車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6...

控制頭19包括頂端開設有開口一22、底端開設有開口二23的殼體24，開口一22與搬運管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對應連通(即一根支管29連通一個吸盤20)，開口二23上設置有位于殼體24內的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時了解控制頭19內的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉手把的操作手柄，可隨意控制搬運管15的上升、下降，以方便搬運。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿...

搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一...

第1區(qū)段間頂棚軌道13經由第1連接軌道15與第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段內頂棚軌道12各自的一個端部(+y側的端部)連結。第二區(qū)段間頂棚軌道14經由第二連接軌道16與第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段內頂棚軌道12各自的另一個端部(-y側的端部)連結。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個軌道。入口部15a形成供高架搬運車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運車50從第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，...

在第1、第二起重機是懸掛式起重機的情況下，由于無需在與第1、第二起重機對應的地上側(地板面?zhèn)?設置軌道，因此能夠以低成本進行軌道的設置。另外，在第1區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道是環(huán)繞軌道，第1起重機和高架搬運車在第1區(qū)段內頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛，第二起重機和高架搬運車在第二區(qū)段內頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛的情況下，能夠減少從區(qū)段間頂棚軌道駛入區(qū)段內頂棚軌道的高架搬運車與沿著該區(qū)段內頂棚軌道行駛的第1、第二起重機干擾的可能性，并且，能夠簡化高架搬運車和第1、第二起重機的控制。另外，在第1、第二交接端口配置于第1、第二保管部的較上層的情況下，能夠通過高架搬運車和第1、第二起重...