輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸，上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前臂連桿經由關節(jié)而連結。前臂連桿和手部也經由關節(jié)而連結。在各個關節(jié)處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉。在輸送半導體晶圓的機械手中，為了不污染傳送室內而屏蔽（shield）安裝于關節(jié)的軸承。盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.珠海官方晶圓運送機械吸臂維修電話

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布。 東莞正規(guī)晶圓運送機械吸臂工廠精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè)。

沖床行業(yè)機械臂又名沖床行業(yè)機械手、沖床沖壓機械手，它是用于沖床行業(yè)專門用的機械臂，沖床沖壓機械手能按照預選程序自動完成幾個規(guī)定的動作，實現(xiàn)物體的自動夾取和運送。在沖壓生產中，它不僅用于一臺壓力機上完成上下料工作，實現(xiàn)單機自動化，也可以用在由若干臺壓力機組成的流水生產線上，實現(xiàn)各壓力機之間工件的自動傳遞，形成自動沖壓生產線。由于機械手能方便地改變工作程序，因而在經常變換產品品種的中小件沖壓生產中，對于實現(xiàn)生產自動化更具有重要意義。沖床沖壓機械手由執(zhí)行機構、驅動機構和電氣控制系統(tǒng)等組成。

電鍍：

到這一步，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅，銅離子會從正極走向負極。

拋光：

然后將Wafer進行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了。

切割：

對晶圓進行切割，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對切割的工藝要求也是非常高的。

測試：

測試分為三大類：功能測試、性能測試、抗老化測試。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、動態(tài)參數(shù)測試、模擬信號參數(shù)測試等等。全部測試都通過的，就是正片；部分測試未通過，但正常使用無礙，這是白片；未開始測試，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的，這是黑片。

機械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。

例如：尋找，運輸，握取，對準，裝配，檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人，美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制，多功能的操作器，它透過程式控制和多變化的動作設計來移動材料，工件，工具或特別設備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機械人并非有人的形態(tài)，但只要它們符合機械人的定義，便可以稱為機械人.工業(yè)機械人雖然已被廣泛應用在多種制造行業(yè)內，但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機械人投入服務.現(xiàn)時，不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺，令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學。與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結構輕、載重/自重比高等特性。廣東晶圓運送機械吸臂質量材質上乘

隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構件組成的多柔體系統(tǒng)。珠海官方晶圓運送機械吸臂維修電話

再制造就是追求低碳、環(huán)保、綠色制造，被視為未來產業(yè)升級替代的發(fā)展方向。有資料顯示，氧化鋁陶瓷，氧化鋯陶瓷，碳化硅陶瓷，陶瓷機械手再制造產品比新產品的制造節(jié)能60%，平均有55%的部件都可以被再利用，制造過程中可以節(jié)省80%以上的能源消耗。創(chuàng)新、協(xié)調、綠色、開放、共享的五大發(fā)展理念，對機械制造業(yè)也提出了明確要求，研發(fā)生產科技含量高、附加值高、智能化程度高而碳量排放少的氧化鋁陶瓷，氧化鋯陶瓷，碳化硅陶瓷，陶瓷機械手裝備；同時還要調整產業(yè)結構，轉變發(fā)展方式實現(xiàn)轉型升級。我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠的發(fā)展帶動了我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)的發(fā)展，我國我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)已具有較大的規(guī)模，已經形成較為完整的產業(yè)鏈布局。在我國經濟步入發(fā)展新常態(tài)后，我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)也處于新舊增長模式轉換的關鍵時期。實施轉換的獨一途徑是依靠科技創(chuàng)新驅動發(fā)展。我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠是我國我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠工業(yè)的裝備技術基礎，圍繞我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠工業(yè)結構調整的需要，發(fā)展我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠裝備技術，提高國產我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠裝備制造水平，是我國我司技術力量雄厚、設備精良，加工經驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產品質量精度。主營產品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠產業(yè)由大轉強的重要基礎和關鍵。珠海官方晶圓運送機械吸臂維修電話

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