可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。
適用于300mm半導體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運。
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP(210mm臂長)
或者3個FOUP(280mm臂長)雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化
能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 精確地定位到三維(或二維)空間上的某一點進行作業(yè)。深圳進口晶圓運送機械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
半導體晶圓有時在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導體晶圓。若高溫的半導體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護頻率較高。晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。
晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路**主要的原料是硅,因此對應(yīng)的就是硅晶圓。 珠海直銷晶圓運送機械吸臂市場價簡單的搬運與碼垛,根本無法稱之為智能制造。
裝配機械人 ;這燈機械臂要有較高的位姿精度,手腕具有較大的柔性。目前大多用于機電產(chǎn)品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機械臂 如醫(yī)用護理機械臂、航天用機械臂、探海用機械臂以及排險作業(yè)機械臂等。三、按操作機的位置機構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機械臂操作機的位置機構(gòu)型式是機械臂重要的外形特征,按這一類標準,機械臂可分為直角坐標型,圓柱坐標型,球(極)坐標型、關(guān)節(jié)型機械臂(或擬人機械臂)。操作機本身的軸數(shù)(自由度數(shù))**能反應(yīng)機械臂的工作能力,也是分類的重要依據(jù)。按這一分類要求,機械臂可分為4軸(自由度)、5軸(自由度)、6軸(自由度)、7軸(自由度)等機械臂。還有其它多種分類方式?;窘榻B工業(yè)設(shè)計工業(yè)機械人通常由六項基本元素所組成,包括:結(jié)構(gòu),臂端工具,電腦數(shù)碼控制器,驅(qū)動器,量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器。
建模理論柔性機械臂動力學方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ)。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形,同時變形的描述與系統(tǒng)動力學方程的求解關(guān)系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種:1)有限元法;2)有限段法;3)模態(tài)綜合法;4)集中質(zhì)量法;動力學方程的建立無論是連續(xù)或離散的動力學模型,其建模方法主要基于兩類基本方法:矢量力學法和分析力學法。應(yīng)用較***同時也是比較成熟的是Newton-Euler公式、Lagrange方程、變分原理、虛位移原理和Kane方程。 圖為單軸機械手臂。單軸機械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計的成本.
機械臂的工作原理:
一般機構(gòu)可由電力、液壓、氣動、人力驅(qū)動。機構(gòu)有螺紋頂緊機構(gòu)(如臺虎鉗)、斜鍥壓緊、
導桿滑塊機構(gòu)(破碎機常用)、利用重力的自鎖機構(gòu)(如抓磚頭的)等等。還有簡單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購買FESTO等公司的氣動手指。
底座是用來安裝和固定機器的。
油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。
升降位置檢測器,要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預定高度位置,要么是實時檢測其高度的。
手臂回轉(zhuǎn)升降機構(gòu)就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。
手臂伸縮機構(gòu)是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,只是測量對象換了。
機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能,用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。 單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用***。汕頭官方晶圓運送機械吸臂代理價錢
工業(yè)機械臂的工作原理。深圳進口晶圓運送機械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
電動式 電力驅(qū)動是目前機械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點是電源方便,響應(yīng)快,驅(qū)動力較大(關(guān)節(jié)型的持重已達400公斤),信號檢測、傳遞、處理方便,并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機一般采用步進電機,直流伺服電機以及交流伺服電機(其中交流伺服電機為目前主要的驅(qū)動形式)。由于電機速度高,通常采用減速機構(gòu)(如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構(gòu)等)。目前,有些機械臂已開始采用無減速機構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機進行直接驅(qū)動(DD),這既可以使機構(gòu)簡化,又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣,一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求,只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人,工件堆垛機械臂,注塑機配套用的機械等。深圳進口晶圓運送機械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
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