半導體行業(yè)，尤其是集成電路領域，晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的?？梢?，晶圓在實際應用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”？

要解釋這個問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

因此，在設計手臂時，須根據(jù)機械手抓取重量、自由度數(shù)、工作范圍、運動速度及機械手的整體布局。佛山進口晶圓運送機械吸臂工廠

半導體行業(yè)，尤其是集成電路領域，晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的。可見，晶圓在實際應用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”？

要解釋這個問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”。 佛山進口晶圓運送機械吸臂工廠手臂由靜止狀態(tài)達到正常的運動速度為啟動，由常速減到停止不動為制動，速度的變化過程為速度特性曲線。

電動式 電力驅(qū)動是目前機械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點是電源方便，響應快，驅(qū)動力較大（關節(jié)型的持重已達400公斤），信號檢測、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機一般采用步進電機，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅(qū)動形式）。由于電機速度高，通常采用減速機構(gòu)（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構(gòu)等）。目前，有些機械臂已開始采用無減速機構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機進行直接驅(qū)動（DD），這既可以使機構(gòu)簡化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣，一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求，只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人，工件堆垛機械臂，注塑機配套用的機械等。

例如：尋找，運輸，握取，對準，裝配，檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人，美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制，多功能的操作器，它透過程式控制和多變化的動作設計來移動材料，工件，工具或特別設備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機械人并非有人的形態(tài)，但只要它們符合機械人的定義，便可以稱為機械人.工業(yè)機械人雖然已被廣泛應用在多種制造行業(yè)內(nèi)，但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機械人投入服務.現(xiàn)時，不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺，令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學?？茖W家已經(jīng)研制出了橡膠機器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運機械手相比，蛙腿型機械手的傳動機構(gòu)更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅(qū)電機分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機，但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關節(jié)，因此對整個真空機械手建立旋轉(zhuǎn)關節(jié)坐標與末端晶圓托盤坐標之間的函數(shù)關系是一個復雜的過程加設定位裝置和行程檢測機構(gòu)。佛山進口晶圓運送機械吸臂工廠

手臂就要產(chǎn)生振動，或動作時工件卡死無法工作。佛山進口晶圓運送機械吸臂工廠

機械臂是指高精度，多輸入多輸出、高度非線性、強耦合的復雜系統(tǒng)。因其獨特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領域得到廣泛應用。機械臂是一個復雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性，對于不同的任務, 需要規(guī)劃機械臂關節(jié)空間的運動軌跡，從而級聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1]  。機器人系統(tǒng)是由視覺傳感器、機械臂系統(tǒng)及主控計算機組成，其中機械臂系統(tǒng)又包括模塊化機械臂和靈巧手兩部分。整個系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示．佛山進口晶圓運送機械吸臂工廠

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