探針臺(tái)市場(chǎng)逐年增長(zhǎng):半導(dǎo)體測(cè)試對(duì)于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測(cè)試(CP測(cè)試、FT測(cè)試等)、三種設(shè)備(探針臺(tái)、測(cè)試機(jī)、分選機(jī)等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測(cè)試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)飛速增長(zhǎng)。在全球貿(mào)易摩擦背景下,半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)化率提高成為必然趨勢(shì),國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上。浙江智能探針臺(tái)多少錢
半自動(dòng)型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。電動(dòng)型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼;可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。浙江智能探針臺(tái)多少錢上海勤確科技有限公司本上海勤確科技有限公司經(jīng)營(yíng)理念,將心比心,誠(chéng)信經(jīng)營(yíng),質(zhì)量為先。
手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見(jiàn)的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為150mmor200mm,移動(dòng)精度為1μm載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。
錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產(chǎn)品。鎢作為一種硬度強(qiáng)、耐高溫的金屬材料,常被用于燈絲、電極、熱電偶或者探測(cè)針等等,但鎢本身存在易脆和可塑性低的問(wèn)題,這減小了其使用過(guò)程中的壽命。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性,傳統(tǒng)的方法通過(guò)在鎢內(nèi)添加稀有金屬形成鎢基合金增加其性能。在鎢內(nèi)添加錸,可以發(fā)生“錸塑化效應(yīng)”,增加鎢的可塑性。錸鎢合金具有高熔點(diǎn)、厲害度、高硬度、高塑性、高再結(jié)晶溫度、高電阻率,低蒸氣壓、低電子逸出功和低塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等一系列優(yōu)良性能。探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,容易引起短路。
晶圓探針器是用于測(cè)試集成電路的機(jī)器(自動(dòng)測(cè)試設(shè)備)。對(duì)于電氣測(cè)試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯(或管芯陣列)經(jīng)過(guò)電氣測(cè)試后,探針臺(tái)將晶片移動(dòng)到下一個(gè)管芯(或管芯),下一個(gè)測(cè)試就可以開(kāi)始了。晶圓探針臺(tái)通常負(fù)責(zé)從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動(dòng)模式識(shí)別光學(xué)器件,能夠以足夠的精度對(duì)準(zhǔn)晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)。探針材質(zhì)、探針直徑、光束長(zhǎng)度、和尖錐長(zhǎng)度都在決定頂端壓力時(shí)起重要的作用。山東手動(dòng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)
適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。浙江智能探針臺(tái)多少錢
以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng),移動(dòng)范圍12mm,移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上(說(shuō)明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試。浙江智能探針臺(tái)多少錢