FFU風機過濾單元在電子無塵凈化車間潔凈室的應用

隨著科學技術的日新月異，促使?jié)崈艏夹g的發(fā)展也隨之突飛猛進?，F(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。電子計算機就是微型化產(chǎn)品中代表性的產(chǎn)品之一，電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路。特別是20世紀80年代大規(guī)模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展，更是促進潔凈技術的發(fā)展。

一、概念及原理FanFilterUnit風機過濾單元機組簡稱FFU，是由高效過濾器（HEPA）、風機、殼體組合而成的凈化空調末端，其用于亂流及層流潔凈室內。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用，根據(jù)吊頂骨架的不同選擇與之對應的FFU。FFU可以實現(xiàn)潔凈度要求在ISO3∽ISO9（即1級∽100萬級）之間的潔凈室。

常見的潔凈室空氣處理方式有兩種，分別是MAU+AHU+HEPA（以下簡稱AHU系統(tǒng)）和MAU+FFU+DC干盤管（以下簡稱FFU系統(tǒng)）。通過對兩種方式的比較得出：FFU在凈化空調系統(tǒng)中充當了凈化循環(huán)機組，潔凈室的循環(huán)風量等于潔凈室內FFU的風量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進潔凈室內，并通過回風夾道將循環(huán)空氣再送回到天花夾層；循環(huán)空氣在通過回風夾道時與安裝在夾道中的DC干盤管進行熱量交換。 FFU風機凈化單元品牌-咨詢統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認證。半導體設備FFU哪家質量好

FFU系統(tǒng)控制在無塵室、潔凈室、凈化工程中的設計方式

無塵室、潔凈室、凈化工程由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。FFU集成電路設計優(yōu)點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)可以很好滿足這些要求。潔凈室按照回風特點分為三個系統(tǒng)：

1.FFU循環(huán)系統(tǒng);

2.循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng);

3.循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和。

FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型

1.適合半導體制造業(yè)。FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求。

2.適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。 304不銹鋼FFUFFU哪家好-咨詢上海統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認證。

FFU空氣凈化器濾網(wǎng)多久更換一次

FFU空氣凈化器濾網(wǎng)包括初效濾網(wǎng)-防塵罩，高效濾網(wǎng)-HEPA濾網(wǎng)，活性炭濾網(wǎng)，防塵罩不用更換，活性炭一般也不要更換，主要是高效濾網(wǎng)-HEPA濾網(wǎng)，高效濾網(wǎng)-HEPA濾網(wǎng)是FFU空氣凈化器里****的，簡單的說,HEPA就是一種高密度濾網(wǎng)。它屬于被動式空氣凈化器的一種,主要是通過風機、濾網(wǎng),將空氣中大于2.5微米的顆粒物質、粉塵、細菌、病毒進行有效的攔截,HEPA濾網(wǎng)的優(yōu)點在于過濾效果比較明顯,但是使用材質的損耗很大,需要及時的進行更換,如果沒有及時的更換,反倒會讓攔截在濾網(wǎng)上的細菌和病毒滋生,形成二次的污染。那么HEPA使用多久更換合適呢,有沒有大概的估計值呢?

關鍵根據(jù)使用頻率來的，F(xiàn)FU空氣凈化器家用，***正常開機按10小時計算，建議高效網(wǎng)可以2-3年更換一次，顆?；钚蕴烤W(wǎng)一年更換一次，初效網(wǎng)清理清潔后重復使用，**是每1個月更換一次初效，這樣可以更好的保護后端的活性炭和高效過濾器，延長他們的使用壽命（重復使用但不建議重復使用超過2-3次后就要更換新的，因為每清潔一次，其纖維就會受損一次，密度梯度會改變，過濾會受影響）。像活性炭網(wǎng)可以一個月左右的時間放在太陽下面暴曬3-5小時，吸附甲醛、TVOC等效果會更好。

負壓稱量罩結構說明:負壓稱量室由機箱、送風高效過濾器、排氣高效過濾器、可變風量風機組、PLC控制系統(tǒng)和傳感系統(tǒng)等幾大部件組成。機箱采用拉絲無指紋不銹鋼SUS304制作，鈑金一體折彎制作而成，美觀潔凈，易于清潔消毒。負壓稱量罩采用了可調風量的風機系統(tǒng)和不銹鋼風速傳感器，通過調節(jié)風機的工作工況，可使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)中的平均風速保持在設定0.45m/s的范圍內。負壓稱量罩氣流流形為垂直上送側回?？諝庾陨隙碌牧鲃咏?jīng)工作區(qū)，將工作中產(chǎn)生的飛揚粉塵壓迫至側下方的初效、中效和袋進袋出裝置中，空氣由風機抽至高效過濾器靜壓箱內，一部分通過高效過濾器送回室內工作區(qū)，另一部分通過排氣過濾器排至工作區(qū)外，內形成負壓。負壓稱量罩配有四個壓差傳感器：室內外負壓、袋進袋出阻力、送風高效阻力、排氣高效阻力，配有風速傳感器，采用西門子PLC控制器在線動態(tài)控制稱量室工作狀態(tài)，偏離設定工作狀態(tài)自動校正，校正仍然有偏離報警功能。DOP層流罩廠家-咨詢統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認證。

負壓稱量罩性能確認之風速及均勻度：

負壓稱量罩的保護作用是靠一定風速的良好氣流形成的，只有均勻的送、回風采能形成良好的氣流，且只有一定的風速才能達到遏制塵埃擴散的效果。A,送風使用經(jīng)校準的風速儀在出風面正下方5-15cm處測量分別在每個均流膜面板取點測試。每個膜面取5點，并計算平均值及風量。判斷標準：送風風速0.36-0.54m/s,每個膜面的平均速度同樣在總平均速度10%誤差以內。另，任一點都沒有偏離其所屬膜面均值的12%。B，回風使用經(jīng)過校準的風速儀在離回風格柵3-5cm處測量回風速度。每個回風格柵取5點，并計算平均值。判斷標準：每部分的平均速度在總平均值10%誤差范圍以內，并且任一個數(shù)據(jù)都沒有超過其所在格柵風速均值的12%。 風機過濾單元廠家-咨詢統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認證。304不銹鋼FFU

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潔凈棚里的FFU多久更換一次高效過濾器?

潔凈棚里面配置FFU使用的高效過濾器其實就裝在頂部的出風位置，也就是FFU自帶的高效過濾器，那么多久就要更換一次呢?對于潔凈棚里的FFU多久更換一次高效過濾器這個問題，大部分人也沒有一個統(tǒng)一的答案，大部分業(yè)內人士都是認為，潔凈棚里的FFU高效過濾器使用壽命和一般的潔凈室高效過濾器一樣，都是根據(jù)其自身的使用情況。現(xiàn)潔凈房根據(jù)業(yè)內數(shù)據(jù)分享一下統(tǒng)計結果：潔凈棚FFU高效過濾器一般在1-2年左右就要考慮更換；當然對于高等級的潔凈棚可能就要適當提前，一般在不超過一年就要考慮更換了。 半導體設備FFU哪家質量好