搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。江寧區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！閔行區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

    并在第二處理裝置tl2的裝載端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之間搬運(yùn)物品2。例如，在通過高架搬運(yùn)車50將物品2載置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情況下，第1起重機(jī)40a能夠移動至第1交接端口30a而通過第1移送部44a(參照圖4)接收物品2，第二起重機(jī)40b能夠移動至第二交接端口30b而通過第二移送部44b(參照圖4)接收物品2。其后，第1起重機(jī)40a能夠行駛至第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1保管部20a，將物品2載置于第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1保管部20a。另外，第1起重機(jī)40a能夠通過第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2，行駛至第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1交接端口30a，通過第1移送部44a將物品2載置于第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1交接端口30a。第二起重機(jī)40b能夠行駛至第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二保管部20b，將物品2載置于第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二保管部20b。另外，第二起重機(jī)40b能夠通過第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2，行駛至第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二交接端口30b，通過第二移送部44b將物品2載置于第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二交接端口30b。另外。秦淮區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)原理六合區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    前端活動架位于中間活動板的前端側(cè)，中間活動板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副，前端活動架與中間活動板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐保岸嘶顒蛹艿南露瞬垦b設(shè)有吸盤安裝架，吸盤安裝架裝設(shè)有真空吸盤；固定安裝豎板的前表面開設(shè)有呈“n”形狀的活動槽，前端活動架螺裝有活動架驅(qū)動塊，活動架驅(qū)動塊裝設(shè)有活動架驅(qū)動軸，活動架驅(qū)動軸伸入至固定安裝豎板的活動槽內(nèi)且活動架驅(qū)動軸裝設(shè)有嵌插于活動槽內(nèi)的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動電機(jī)，機(jī)械手驅(qū)動電機(jī)的動力輸出軸裝設(shè)有位于活動槽旁側(cè)且用于撥動活動架驅(qū)動軸動作的驅(qū)動軸撥動塊。通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計，本實用新型具有設(shè)計新穎、結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定可靠性好的優(yōu)點(diǎn)。附圖說明下面利用附圖來對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說明，但是附圖中的實施例不構(gòu)成對本實用新型的任何限制。圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實用新型的分解示意圖。

    高架搬運(yùn)車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對交接端口130進(jìn)行物品2的交接，并且，也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對交接端口130進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是，第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運(yùn)車50能夠以不進(jìn)入第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與第1、第二起重機(jī)40a、40b之間進(jìn)行物品2的交接。第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)物品2。圖4是表示第1、第二起重機(jī)40a、40b的一個例子的圖。如圖4所示，第1、第二起重機(jī)40a、40b使用懸掛式起重機(jī)。由于第1、第二起重機(jī)40a、40b是懸掛式起重機(jī)，因此無需在與第1、第二起重機(jī)40a、40b對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示，第1、第二起重機(jī)40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺43a、43b、第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。雨花臺區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    供電部70具有供電導(dǎo)軌75、和設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方，并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外，在第1、第二起重機(jī)40a、40b的安裝部46和高架搬運(yùn)車50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力，并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示，控制裝置60統(tǒng)一控制搬運(yùn)系統(tǒng)100。控制裝置60通過無線或者有線的通信來控制第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的動作。此外，控制裝置60也可以分割為控制第1、第二起重機(jī)40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運(yùn)車50的控制裝置。另外，也可以通過不同的控制裝置來控制第1起重機(jī)40a與第二起重機(jī)40b。在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中，第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如，第1起重機(jī)40a沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個方向，例如圖1中的逆時針的方向行駛，并在第1處理裝置tl1的裝載端口lp、第1保管部20a、以及第1交接端口30a之間搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如，第二起重機(jī)40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個方向，例如圖1中的逆時針的方向行駛。溧水區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！黃浦區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)

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    控制裝置60針對高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a的物品2搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b。高架搬運(yùn)車50沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11移動至第1交接端口30a，使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向-x方向或者+x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53保持第1交接端口30a的物品2。此外，高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息，獲取接收到的物品2的搬運(yùn)目的地亦即第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下來，高架搬運(yùn)車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11上沿順時針的方向行駛，從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a經(jīng)由第二連接軌道16的出口部16b(參照圖1)向第二區(qū)段間頂棚軌道14移動。此外，第二連接軌道16的截面形狀與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14相同或者大致相同(參照圖6)，因此高架搬運(yùn)車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11無障礙地移動至第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來，高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段間頂棚軌道14上朝向+x方向行駛，從第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16的入口部16a向第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動。其后，高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛。閔行區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

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