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供電部70具有供電導(dǎo)軌75、和設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方,并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外,在第1、第二起重機(jī)40a、40b的安裝部46和高架搬運(yùn)車50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力,并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示,控制裝置60統(tǒng)一控制搬運(yùn)系統(tǒng)100??刂蒲b置60通過無線或者有線的通信來控制第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的動(dòng)作。此外,控制裝置60也可以分割為控制第1、第二起重機(jī)40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運(yùn)車50的控制裝置。另外,也可以通過不同的控制裝置來控制第1起重機(jī)40a與第二起重機(jī)40b。在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中,第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,第1起重機(jī)40a沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛,并在第1處理裝置tl1的裝載端口lp、第1保管部20a、以及第1交接端口30a之間搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,第二起重機(jī)40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛。棲霞區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!靜安區(qū)真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家
其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部;以及高架搬運(yùn)車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛,其中,第1起重機(jī)在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運(yùn)物品,第二起重機(jī)在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品,高架搬運(yùn)車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,通過第1、第二起重機(jī)進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運(yùn),從而能夠增加物品的保管數(shù)量,通過高架搬運(yùn)車進(jìn)行區(qū)段間的物品的搬運(yùn),從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外,由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機(jī)的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾,并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車共享,因此無需分別對(duì)應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。江陰米袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的行駛速度能夠任意地設(shè)定,也可以使其與第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的行駛速度相同。圖7~圖9是表示通過高架搬運(yùn)車50搬運(yùn)物品2時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。在圖7~圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開始以第1保管區(qū)域sa1或者第1裝置區(qū)域ta1為下一個(gè)搬運(yùn)目的地的物品2被第二起重機(jī)40b載置于第二交接端口30b的例子。例如,如圖7所示,在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下,控制裝置60(參照?qǐng)D1)針對(duì)高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運(yùn)至第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a。高架搬運(yùn)車50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)至第二交接端口30b,使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向突出,并驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54使保持部53下降,由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外,高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息,獲取以下信息:接收到的物品2的搬運(yùn)目的地是在第1保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的第1交接端口30a。此外,第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi),例如沿與順時(shí)針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是。
圖7是表示通過高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是接著圖7,通過高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是接著圖8,通過高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實(shí)施方式以下,參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向,是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。江寧區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械手,特別是一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手,適用于玻璃、卷材、管材以及其它表面較平整、形狀較規(guī)則的各類物料的搬運(yùn)。背景技術(shù):開放以來,國(guó)民經(jīng)濟(jì)快速增長(zhǎng),“科技創(chuàng)新、自主創(chuàng)新”已成為國(guó)內(nèi)工業(yè)發(fā)展的主流,我國(guó)工業(yè)正逐步向集約型、節(jié)能減排、低碳的方向發(fā)展。由于機(jī)械手為物料上下線和生產(chǎn)物品組裝提供極理想的助力搬運(yùn)和組裝工具,可完成重物抓取、搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、對(duì)接、微調(diào)角度等三維空間移載動(dòng)作,因而用于工業(yè)生產(chǎn)中。機(jī)械手可部分替代人的繁重勞動(dòng)以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動(dòng)化,在作業(yè)員的輕松操作下,可完成自動(dòng)機(jī)器人的許多復(fù)雜工作,而生產(chǎn)及使用成本卻大為降低,同時(shí)使用范圍也,靈活性和機(jī)動(dòng)性更大。真空搬運(yùn)機(jī)械手適用于板材、玻璃、卷材、管材以及其它表面較平整、形狀較規(guī)則的各類物料搬運(yùn)。普通的起吊設(shè)備在運(yùn)行時(shí),存在一定的沖擊力及反彈力,對(duì)工件損害較大,安全性能及定位精確度均達(dá)不到理想效果。科研單位與企業(yè)的技術(shù)人員在不斷地探索、研究,希望研制出一種操作方便、性能優(yōu)越的機(jī)械手,雖然取得了一定的進(jìn)展,但在實(shí)際運(yùn)用中仍然存在著尚未克服的技術(shù)難題。溧水區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!靜安區(qū)真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家
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保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動(dòng)部54懸掛且以能夠擺動(dòng)的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機(jī)40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu),也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動(dòng)部54例如是升降機(jī),通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降,通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動(dòng)部54被控制裝置60等控制,使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外,升降驅(qū)動(dòng)部54被控制裝置60等控制,將保持部53保持于目標(biāo)高度。橫向伸出機(jī)構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動(dòng)板??蓜?dòng)板能夠向行駛部51的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動(dòng)。在可動(dòng)板安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)部和升降驅(qū)動(dòng)部54。主體部52具有引導(dǎo)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的引導(dǎo)件、和驅(qū)動(dòng)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動(dòng)部等。橫向伸出機(jī)構(gòu)55通過來自電動(dòng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力,使升降驅(qū)動(dòng)部54和保持部53沿著引導(dǎo)件,在突出位置與收納位置之間移動(dòng)。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動(dòng)部具有未圖示的轉(zhuǎn)動(dòng)部件和轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部。轉(zhuǎn)動(dòng)部件被設(shè)置為能夠圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)部件安裝于升降驅(qū)動(dòng)部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部使用電動(dòng)馬達(dá)等。靜安區(qū)真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家
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