所述的伸展電機、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動,所述的手指固定座始終保持直線運動。上述技術方案中,的,所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)的傳動比為1:2:1。上述技術方案中,的,所述的伸展電機通過諧波減速機驅動所述一級伸展臂轉動。上述技術方案中,的,所述的一級關節(jié)上設置有一級同步輪,所述的二級關節(jié)上設置有二級同步輪,所述的一級同步輪和所述的二級同步輪通過一級同步帶傳動連接。上述技術方案中,的,所述的一級伸展臂內(nèi)還設置有與所述一級同步帶相配合的一級張緊輪。上述技術方案中,的,所述的二級關節(jié)上設置有三級同步輪,所述的三級關節(jié)上設置有四級同步輪,所述的三級同步輪和所述的四級同步輪通過二級同步帶傳動連接。上述技術方案中,的,所述的二級伸展臂內(nèi)還設置有與所述二級同步帶相配合的二級張緊輪。上述技術方案中,的,所述的手指固定座上設置有插槽,所述的插槽內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置。上述技術方案中,的,所述的晶圓固定裝置包括真空吸盤、氣缸機械手。上述技術方案中,的,所述的手指固定座上還設置有掃描傳感器。本發(fā)明具體為一種用于晶圓搬運的機械手,它是自動晶圓處理設備中組成部分。溧水區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家!溧陽工業(yè)氣動懸臂吊有幾種
能夠抑制磁傳感器相對于磁體的振動。由此,能夠進一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測磁體的旋轉角度。作為理想的技術方案,所述彈性體具有環(huán)形狀,在自所述軸的軸向俯視時,所述通孔位于所述彈性體的環(huán)的內(nèi)側。由此,當彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時,壁部的環(huán)被電路基板封堵。由此,能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M入壁部的環(huán)的內(nèi)側。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側,因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)。作為理想的技術方案,所述壁部具有在與所述電路基板相對的面設置的槽部,所述彈性體能嵌入所述槽部。由此,易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對的面?zhèn)取D軌蚍乐箯椥泽w相對于壁部錯位。作為理想的技術方案,所述彈性體為絕緣性。由此,彈性體能夠使電路基板與壁部之間絕緣。例如,即使在壁部由金屬制成的情況下,彈性體也能夠防止電流在壁部與電路基板之間流動。作為理想的技術方案,還具備將所述壁部的外周面和所述第1面連結起來的多個肋。由此,能夠提高壁部與散熱器之間的連結強度。作為理想的技術方案,所述多個肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置能夠確保壁部與散熱器之間的連結強度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術方案。建鄴區(qū)糖袋氣動懸臂吊品牌棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家!
而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產(chǎn)品時,通過改變傾角來適應摩擦系數(shù)的變化。符合同一生產(chǎn)線生產(chǎn)多規(guī)格產(chǎn)品的需要。附圖說明圖1是本實用新型實施例的結構示意圖;圖2是本實用新型實施例的鉸接組件結構示意圖;圖3是本實用新型實施例的絞索固定件的結構示意圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例只只用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。如圖1至圖2所示,本實用新型提供了一種輸送滑道,包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因為塔架100要對鉸接組件130提供穩(wěn)定的支撐力,又要承受絞索600的拉力,因此為了提高輸送滑道的穩(wěn)定性,因此對塔架100采用如下設計塔架四根豎直放置的立柱,立柱間有多根水平拉桿,水平拉桿和立柱間有多根對角拉桿。同時為了固定絞索600,塔架100上帶有連接板120,連接板一端焊接在塔架100上,另一端開孔。并且第1滑道200和第二滑道300兩側外壁均延伸出有連接耳210,連接耳上210帶有通孔。上述通孔中裝配有螺栓,絞索600端頭分別環(huán)繞過螺栓后通過旋緊螺栓固定絞索600。
而鎖定銷2032的安裝端2032a則鉸接在凸輪手柄2033較厚的一端的塊體上,但鉸接點應靠近薄板與塊體的連接點處。如此,在轉動凸輪手柄2033時,鎖定銷2032可隨之做上下的直線移動。彈性件2034為彈簧,其套設在鎖定銷2032的安裝端2032a上。如圖7所示,開關結構203在鎖定狀態(tài)下,上下兩個鎖定銷2032的插銷端2032b分別穿過內(nèi)調節(jié)桿201的其中兩個相對的固定孔2011。而凸輪手柄2033平行于外調節(jié)桿202支承在蓋板2031上。此時外調節(jié)桿202不能移動。解鎖時,航天員順時針轉動凸輪手柄2033,此時,鎖定銷2032向上移動,彈性件2043壓緊。當凸輪手柄2033轉動90°后,如圖8所示,鎖定銷2032的插銷端2032b完全脫離內(nèi)調節(jié)桿201的固定孔2011,完成解鎖。此時,由于圖8中凸輪手柄2033的塊體底面為與凸輪手柄2033左側面垂直的平面,因此解鎖后凸輪手柄2033可穩(wěn)定的支承在蓋板2031b上。當再次鎖定時,航天員只需逆時針撥動凸輪手柄2033,彈性件2033靠彈力將鎖定銷2032自動頂回內(nèi)調節(jié)桿201上的固定孔2011中,凸輪手柄2033也隨之轉回到平行于外調節(jié)桿202的位置。圖9是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的末端助力機構的立體圖。如圖9所示,末端助力機構3包括末端扶手301和連桿302。江寧區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家!
起到防滑作用。固定夾和轉動夾閉合后形成一個由四個沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間,使得夾持件可以從兩個垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據(jù)本發(fā)明的一個方案,固定夾持機構與長度調整機構之間通過萬向球頭接頭結構連接。萬向球頭接頭結構中的球頭位于弧形槽中,并可在其中自由轉動。使得長度調整機構也可自由轉動,而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭,從而鎖定長度調整機構使其不再轉動。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調整機構轉動到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉動自動停止。根據(jù)本發(fā)明的一個方案,外調節(jié)桿可往復移動地套設在內(nèi)調節(jié)桿上,內(nèi)調節(jié)桿上設有多個固定孔。而外調節(jié)桿上設有開關結構。航天員可通過撥動開關結構中的凸輪手柄使與其鉸接的鎖定銷做往復直線運動,從而在位于固定孔中和脫離固定孔兩個狀態(tài)之間切換,完成調整長度并鎖定。根據(jù)本發(fā)明的一個方案,長度調整機構和末端助力機構之間通過萬向接頭機構連接,萬向接頭機構與萬向球頭接頭機構相似,同樣為類似關節(jié)的機構。使得末端主力機構也可做自由轉動。而連桿可旋轉地連接在末端扶手上,使得末端扶手可繞連桿軸線旋轉。配合萬向球頭接頭機構構成的關節(jié)結構。江寧區(qū)象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家!新沂包裝袋氣動懸臂吊生產(chǎn)廠家
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能夠使第1線圈布線和第2線圈布線在與軸的軸向交叉的方向上進一步遠離磁傳感器。作為理想的技術方案,所述散熱器具有凹部和凸部中的一者,所述適配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者,所述凸部能嵌入所述凹部。由此,能夠將適配器相對于散熱器定位。作為理想的技術方案,還具備配置于所述凹部的第1粘接劑,利用所述第1粘接劑將所述散熱器和所述適配器粘接起來。由此,能夠確保適配器不脫離散熱器。作為理想的技術方案,還具備將所述蓋體固定于所述散熱器的快速裝配機構,所述快速裝配機構的卡定部和被卡定部中的一者設于所述蓋體的外周部,所述卡定部和所述被卡定部中的另一者設于所述散熱器的外周部。由此,能夠將蓋體和散熱器容易地固定在一起。溧陽工業(yè)氣動懸臂吊有幾種