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本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械手運(yùn)行速度低,定位精度差的問題。本機(jī)械手包含3個(gè)軸,分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,其中伸展軸又包含3個(gè)關(guān)節(jié),三個(gè)關(guān)節(jié)分別為一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié),三個(gè)關(guān)節(jié)之間的傳動(dòng)比為1:2:1,伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng),通過一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動(dòng)結(jié)構(gòu),同時(shí)帶動(dòng)二級(jí)伸展臂和手指固定座的移動(dòng),間接將第1級(jí)關(guān)節(jié)遠(yuǎn)端的一級(jí)同步帶輪變?yōu)橹鲃?dòng)輪,通過這種結(jié)構(gòu),可以在一級(jí)伸展臂和二級(jí)伸展臂移動(dòng)時(shí),保持手指固定座的始終直線運(yùn)動(dòng),既晶圓中心始終保持直線運(yùn)動(dòng),晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機(jī)械手整體強(qiáng)度,達(dá)到高速度運(yùn)行和重復(fù)定位精度高的雙重目的。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。附圖說明圖1是本發(fā)明示意圖。圖2是本發(fā)明伸展軸示意圖。圖3是本發(fā)明伸展軸內(nèi)部俯視示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。實(shí)施例1。雨花臺(tái)區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!高淳區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊哪里可以買到
還具備配置于所述槽部的第2粘接劑,利用所述第2粘接劑將所述外周部和所述散熱器粘接起來。由此,蓋體和散熱器通過快速裝配機(jī)構(gòu)和粘接劑這兩者固定在一起。一技術(shù)方案的電動(dòng)助力轉(zhuǎn)向裝置具備上述電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置,所述電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置能夠產(chǎn)生輔助轉(zhuǎn)向扭矩。由此,能夠抑制電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置所具備的磁傳感器的溫度上升。另一技術(shù)方案的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置具備:電動(dòng)馬達(dá),其包含軸、與所述軸連動(dòng)的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個(gè)系統(tǒng)且用3相交流電對(duì)所述定子芯進(jìn)行勵(lì)磁的多個(gè)線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子、所述馬達(dá)定子和所述多個(gè)線圈組的筒狀的殼體;電子控制裝置,其是為了對(duì)所述電動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制而設(shè)置的,包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、以及位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長(zhǎng)線上的電路基板;第1線圈布線,其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來;第2線圈布線,其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來;散熱器,其具有第1面和位于所述第1面的相反側(cè)的第2面,該散熱器在所述第1面?zhèn)戎С兴鲭娐坊?;以及環(huán)狀的壁部,其配置在所述第1面與所述電路基板之間。江寧區(qū)牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊原理六合區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!
對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。在針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行描述時(shí),術(shù)語(yǔ)“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”所表達(dá)的方位或位置關(guān)系是基于相關(guān)附圖所示的方位或位置關(guān)系,其只是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此上述術(shù)語(yǔ)不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)地描述,實(shí)施方式不能在此一一贅述,但本發(fā)明的實(shí)施方式并不因此限定于以下實(shí)施方式。圖1是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實(shí)施方式的助力裝置的立體圖。如圖1所示,本發(fā)明的助力裝置包括:固定夾持機(jī)構(gòu)1、長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)2和末端助力機(jī)構(gòu)3。固定夾持機(jī)構(gòu)1可以牢固的固定在艙壁助力扶手上,而長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)2則可以調(diào)整軸向的長(zhǎng)度,末端助力機(jī)構(gòu)3為航天員提供握持的部位。固定夾持機(jī)構(gòu)1與長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)2之間通過萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)4連接,該結(jié)構(gòu)具有鎖緊功能。而長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)2與末端助力機(jī)構(gòu)3之間通過萬向接頭結(jié)構(gòu)5連接。
譬如增設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的,這里不做詳細(xì)介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關(guān)系,可對(duì)兩個(gè)滑道的傾角進(jìn)行調(diào)整,并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規(guī)格產(chǎn)品時(shí),摩擦系數(shù)變化所帶來的影響。此外,對(duì)于長(zhǎng)距離滑道運(yùn)輸?shù)膱?chǎng)景,還可在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上增設(shè)前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端,而其頂端對(duì)接于前段設(shè)備,在本實(shí)施例中,因?yàn)榍岸卧O(shè)備為一輸送皮帶,在前段滑道400的頂端增設(shè)有u字形缺口,貼合皮帶端頭的外形,同時(shí)為防止物料卡包,對(duì)u字形缺口的邊緣進(jìn)行卷邊處理。為了對(duì)前段滑道400進(jìn)行必要的支撐,至少要有一支撐腿500對(duì)滑道進(jìn)行固定。如圖3所示,為了快捷的調(diào)整絞索600的拉線長(zhǎng)度,增設(shè)一種絞索固定件,其包括一個(gè)滑輪121、旋鈕122和卡塊123?;?21轉(zhuǎn)軸固定在塔架100上。卡塊100為金屬件,在本實(shí)施例中具體選用316l,其帶有第1通道123a和第二通道123b,二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個(gè)連接筋124,分別鉸接于滑輪121轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)。絞索600穿過第1通道123a后繞過滑輪121,然后穿過第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側(cè)壁插入,并接通第二通道123b。棲霞區(qū)常見氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!
安裝板7遠(yuǎn)離立柱1一側(cè)的側(cè)壁上安裝有橫板4,橫板4遠(yuǎn)離安裝板7一端的底壁上安裝有固定夾板5,橫板4的頂壁上安裝有第二電機(jī)3,第二電機(jī)3的驅(qū)動(dòng)端安裝有第1轉(zhuǎn)盤11,第1轉(zhuǎn)盤11遠(yuǎn)離第二電機(jī)3一側(cè)的側(cè)壁上安裝有轉(zhuǎn)軸13,第1轉(zhuǎn)盤11的外側(cè)設(shè)有三角形傳動(dòng)件14,轉(zhuǎn)軸13與三角形傳動(dòng)件14的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接,三角形傳動(dòng)件14的底端貫穿橫板4的頂壁并延伸至的橫板4的下側(cè),橫板4上開設(shè)有與三角形傳動(dòng)件14相匹配的矩形槽,三角形傳動(dòng)件14的外側(cè)對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤12,第二電機(jī)2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)第1轉(zhuǎn)盤11轉(zhuǎn)動(dòng),第1轉(zhuǎn)盤11通過三角形傳動(dòng)件14可帶動(dòng)兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤12轉(zhuǎn)動(dòng),兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤12靠近三角形傳動(dòng)件14一側(cè)的側(cè)壁上同樣安裝有轉(zhuǎn)軸13,兩個(gè)轉(zhuǎn)軸13分別轉(zhuǎn)動(dòng)在三角形傳動(dòng)件14的底端,兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤12遠(yuǎn)離三角形傳動(dòng)件14一側(cè)的側(cè)壁上均安裝有轉(zhuǎn)桿17,兩轉(zhuǎn)桿17的側(cè)壁上均套設(shè)有螺紋套管16,第二轉(zhuǎn)盤12轉(zhuǎn)動(dòng)后帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿17在螺紋套管16轉(zhuǎn)動(dòng),兩個(gè)螺紋套管16的頂壁上均安裝有固定板15,兩個(gè)固定板15的頂端均安裝在橫板4的底壁上。本發(fā)明中,橫板4的底壁上對(duì)稱安裝有兩個(gè)滑槽板19,橫板4的下側(cè)設(shè)有移動(dòng)夾板6,移動(dòng)夾板6的頂端安裝有滑桿20,且滑桿20的兩端分別與兩個(gè)滑槽板19滑動(dòng)連接。溧水區(qū)牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家!江陰室內(nèi)深加工氣動(dòng)懸臂吊原理
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如圖1至圖3所示,一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3,所述的伸展軸3包括伸展電機(jī)34、一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33,所述的一級(jí)伸展臂31與所述伸展電機(jī)34之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)5,所述的一級(jí)伸展臂31與所述的二級(jí)伸展臂32之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)6,所述的二級(jí)伸展臂32和所述的手指固定座33之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)7。所述的伸展電機(jī)34通過諧波減速機(jī)35驅(qū)動(dòng)所述一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)。所述的伸展電機(jī)34、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7依次傳動(dòng),所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7的傳動(dòng)比為1:2:1,根據(jù)本機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)原理,所述的手指固定座34始終保持直線運(yùn)動(dòng)。所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5上設(shè)置有一級(jí)同步輪51,所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6上設(shè)置有二級(jí)同步輪61,所述的一級(jí)同步輪51和所述的二級(jí)同步輪61通過一級(jí)同步帶52傳動(dòng)連接,所述的一級(jí)伸展臂31內(nèi)還設(shè)置有與所述一級(jí)同步帶52相配合的一級(jí)張緊輪53。所述的二級(jí)關(guān),6上設(shè)置有三級(jí)同步輪62,所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7上設(shè)置有四級(jí)同步輪71,所述的三級(jí)同步輪63和所述的四級(jí)同步輪71通過二級(jí)同步帶64傳動(dòng)連接,所述的二級(jí)伸展,32內(nèi)還設(shè)置有與所述二級(jí)同步帶64相配合的二級(jí)張緊輪63。高淳區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊哪里可以買到
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