而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產(chǎn)品時，通過改變傾角來適應(yīng)摩擦系數(shù)的變化。符合同一生產(chǎn)線生產(chǎn)多規(guī)格產(chǎn)品的需要。附圖說明圖1是本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型實施例的鉸接組件結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型實施例的絞索固定件的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例只只用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1至圖2所示，本實用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因為塔架100要對鉸接組件130提供穩(wěn)定的支撐力，又要承受絞索600的拉力，因此為了提高輸送滑道的穩(wěn)定性，因此對塔架100采用如下設(shè)計塔架四根豎直放置的立柱，立柱間有多根水平拉桿，水平拉桿和立柱間有多根對角拉桿。同時為了固定絞索600，塔架100上帶有連接板120，連接板一端焊接在塔架100上，另一端開孔。并且第1滑道200和第二滑道300兩側(cè)外壁均延伸出有連接耳210，連接耳上210帶有通孔。上述通孔中裝配有螺栓，絞索600端頭分別環(huán)繞過螺栓后通過旋緊螺栓固定絞索600。溧水區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家！徐州牛皮袋氣動懸臂吊原理

    機(jī)械手主機(jī)是實現(xiàn)物料（或工件）在空中無重力化浮動狀態(tài)的主體裝置。機(jī)械手則是實現(xiàn)工件抓取，并完成用戶相應(yīng)搬運和裝配要求的裝置。安裝結(jié)構(gòu)則是根據(jù)用戶服務(wù)區(qū)域及現(xiàn)場狀況要求以支撐整套設(shè)備的機(jī)構(gòu)。助力機(jī)械手產(chǎn)品系列為實現(xiàn)物料移載的省力操作，國內(nèi)機(jī)械手的專業(yè)廠商已推出豐富的平衡吊機(jī)型，滿足不同行業(yè)中不同物料不同工藝要求的搬運需要。按工作原理不一樣，有臂桿式和軟索式。其中臂桿式平衡吊又因工作曲線差異，有PBF、PBC等；軟索式則因主體執(zhí)行元件不同，分卷筒式（IRB）和直線氣缸式（PBB）、鋼絲繩式和鏈條式等。根據(jù)動力源不同，有氣動式和電動式（EBC）等。另外，按系統(tǒng)所采用基座不同，有落地固定式、落地移動式、懸掛固定式、懸掛移動式、附墻式等[1]。助力機(jī)械手助力機(jī)械手系統(tǒng)特點硬臂式助力機(jī)械手系統(tǒng)組成主要包括四部分：1）軌道行走系統(tǒng)；2）機(jī)械手主機(jī)；3）夾具部分；4）執(zhí)行部分；5）氣路控制系統(tǒng)。助力機(jī)械手助力機(jī)械手軌道系統(tǒng)本方案采用雙排C型鋁合金軌道與移動平臺小車配合，平臺小車下法蘭連接硬臂式機(jī)械手。使整個設(shè)備在軌道行程內(nèi)平穩(wěn)行走。C型軌道采用進(jìn)口材料，強(qiáng)度、精度高。非金屬滾輪采用度耐磨尼龍材料加工而成，使用壽命長。寶山區(qū)常見氣動懸臂吊江寧區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    其包含軸、與所述軸連動的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統(tǒng)且用3相交流電對所述定子芯進(jìn)行勵磁的多個線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子、所述馬達(dá)定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動控制而設(shè)置的，包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、以及位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進(jìn)行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出。

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。江寧區(qū)包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    譬如增設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細(xì)介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關(guān)系，可對兩個滑道的傾角進(jìn)行調(diào)整，并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規(guī)格產(chǎn)品時，摩擦系數(shù)變化所帶來的影響。此外，對于長距離滑道運輸?shù)膱鼍?，還可在上述實施例的基礎(chǔ)上增設(shè)前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對接于前段設(shè)備，在本實施例中，因為前段設(shè)備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設(shè)有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時為防止物料卡包，對u字形缺口的邊緣進(jìn)行卷邊處理。為了對前段滑道400進(jìn)行必要的支撐，至少要有一支撐腿500對滑道進(jìn)行固定。如圖3所示，為了快捷的調(diào)整絞索600的拉線長度，增設(shè)一種絞索固定件，其包括一個滑輪121、旋鈕122和卡塊123?；?21轉(zhuǎn)軸固定在塔架100上。卡塊100為金屬件，在本實施例中具體選用316l，其帶有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個連接筋124，分別鉸接于滑輪121轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)。絞索600穿過第1通道123a后繞過滑輪121，然后穿過第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側(cè)壁插入，并接通第二通道123b。溧水區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊推薦廠家！寶山區(qū)常見氣動懸臂吊

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    轉(zhuǎn)動夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端的齒型結(jié)構(gòu)插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉(zhuǎn)動夾1032，達(dá)到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調(diào)整機(jī)構(gòu)的立體圖。如圖6所示，長度調(diào)整機(jī)構(gòu)2包括內(nèi)調(diào)節(jié)桿201、外調(diào)節(jié)桿202和開關(guān)結(jié)構(gòu)203。內(nèi)調(diào)節(jié)桿201為空心矩形桿，其相對的兩個側(cè)壁設(shè)有等間隔直線排列的多個固定孔2011，每兩個相對的固定孔2011為一個長度調(diào)節(jié)檔位。外調(diào)節(jié)桿202也為空心矩形桿，其內(nèi)孔為與內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調(diào)節(jié)桿202一端開口，而內(nèi)調(diào)節(jié)桿201從此開口處插入外調(diào)節(jié)桿202的內(nèi)孔中。并且外調(diào)節(jié)桿202能套在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外做直線往復(fù)移動，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁上位于兩個同一側(cè)壁的固定孔2011之間的位置設(shè)置軸向環(huán)繞內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外，外調(diào)節(jié)桿202外壁的中部位置還設(shè)有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結(jié)構(gòu)，包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠(yuǎn)離長邊梁的一端連接在外調(diào)節(jié)桿202的一個側(cè)壁上，形成一個封閉的矩形。在調(diào)整長度時，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調(diào)節(jié)桿202做遠(yuǎn)離或靠近艙壁助力扶手a的運動。徐州牛皮袋氣動懸臂吊原理

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