上海捷面自控技術(shù)有限公司2024-12-11

光柵尺尺帶的細(xì)分技術(shù)是提高測(cè)量分辨率的重要手段。細(xì)分技術(shù)的基本原理是將光柵尺尺帶上的莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行細(xì)分，從而得到更高的分辨率。常見(jiàn)的細(xì)分方法有電子細(xì)分和光學(xué)細(xì)分兩種。電子細(xì)分是通過(guò)對(duì)莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行電子處理，如放大、濾波、整形等，然后采用數(shù)字電路進(jìn)行細(xì)分。光學(xué)細(xì)分則是通過(guò)在光學(xué)系統(tǒng)中采用特殊的光學(xué)元件，如光柵衍射元件、相位板等，對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分。細(xì)分技術(shù)可以將光柵尺的分辨率提高數(shù)倍甚至數(shù)十倍，從而滿足更高精度的測(cè)量需求。

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