產(chǎn)生不良次品;同時由于所述側(cè)支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實施例四所述支撐架42包括對應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,所述架體包括平行對應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應(yīng)兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設(shè)置在所述盛放部內(nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置;所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,對應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。減薄清洗劑,讓您的加工過程更輕松,提高生產(chǎn)效率。蕪湖國產(chǎn)減薄用清洗劑銷售價格
所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關(guān)于測得厚度的信息實時發(fā)送到所述控制器;當(dāng)測得玻璃厚度達到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復(fù)運動中單程單向時間設(shè)置為~4s,來回往復(fù)一次時間設(shè)置為3s~8s,往復(fù)移動幅度設(shè)置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機,所述控制器進行次減薄厚度確認操作;具體的,通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測量儀,進行檢測厚度比較,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作,當(dāng)所述減薄厚度未達到目標(biāo)厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進行減薄后終清洗。上海半導(dǎo)體減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹減薄清洗劑,采用獨特工藝,輕松去除頑固涂層。
可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時,通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。
磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷??蛇x地,本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?;诖?,如圖2所示,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。減薄清洗劑,良好品質(zhì),值得信賴,讓您的加工更輕松。
通過旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,從而實現(xiàn)對所述連接部433的固定,避免所述連接部433在振動時發(fā)生脫離等情況。同時螺釘?shù)脑O(shè)置,可實現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸,便于維修更換。值得指出的是,為達到防止所述連接部433脫離的效果,所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘,通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件,使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,即可實現(xiàn)螺釘?shù)男Ч?。所述接觸部434設(shè)置有弧形槽,玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進行減薄或其他加工過程中,玻璃通過所述玻璃加工治具4進行移動或放置時,均會產(chǎn)生振動;同時在進行蝕刻沖刷時,在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃產(chǎn)生彎曲,通過所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置,可實現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷;同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復(fù)移動帶來的振動,使玻璃底部在所述連接部433的限制下進行小幅度的移動,在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。減薄清洗劑,專為提升產(chǎn)品質(zhì)量而設(shè)計,讓您的產(chǎn)品更出色。浙江哪家減薄用清洗劑銷售電話
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